公开(公告)号：CN1590944A

公开(公告)日：2005-03-09

申请号：CN200410056737.1

申请日：1999-08-20

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 森田真登 ,  筒井裕二 ,  吉田胜 ,  横山畅入 ,  谷本宪司

IPC: F27B9/14 ,  H01J9/00 ,  H01L31/18

CPC classification number: F27B9/2476 ,  B65G49/065 ,  B65G51/03 ,  B65G2249/02 ,  C03B35/24 ,  C03B2225/02 ,  F27B9/243 ,  F27B2009/2492 ,  H01L21/67784 ,  Y02P40/57

Abstract: 一种在热处理空间内沿规定方向运送被处理材料的装置，包括气体漂浮装置与运送装置。气体漂浮装置包括：为使被处理材料上浮而以亚音速～音速范围的规定的排出速度从气体排出装置的气体排出口对作用漂浮力的被处理材料的一部分吹气体的气体排出装置；以及将气体供给到气体排出装置的气体供给装置，运送装置由与上浮的被处理材料的后端抵接且沿该规定方向移动的抵接构件所构成，本发明是一种价廉的更具有可靠性的装置。