弹性波元件和弹性波滤波器

    公开(公告)号:CN102204092B

    公开(公告)日:2014-03-12

    申请号:CN201080003110.3

    申请日:2010-02-23

    CPC classification number: H03H9/02992 H03H3/08 H03H9/02685 H03H9/14517

    Abstract: 本发明提供一种弹性波元件和弹性波滤波器。该弹性波元件具有叉指式换能器(IDT)电极、和与IDT电极对置的第一其它电极。IDT电极具有相互对置的第一和第二梳齿电极。第一梳齿电极包括:第一汇流条、多个第一交叉电极指、和多个第一虚设电极指。第二梳齿电极包括:第二汇流条、与多个第一交叉电极指在交叉区域交叉的多个第二交叉电极指、分别与多个第一交叉电极指对置的多个第二虚设电极指、多个加权部、和非加权部。多个加权部由设置在多个第二交叉电极指与多个第二虚设电极指之间的间隙部的电极构成。在非加权部中,在非交叉区域,在间隙部之中与其它电极最近的间隙部未设置电极。该弹性波元件可防止IDT电极与其它电极的短路,并且具有优异的抑制无用波的特性。

    声表面波器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN101379700B

    公开(公告)日:2012-04-04

    申请号:CN200780004897.3

    申请日:2007-02-14

    Abstract: 本发明提供一种声表面波器件(10),其具有:含有铌酸锂的基板(1);设置在基板的上表面且由多个电极指(22a)构成的梳型电极(22);以及覆盖梳型电极(22)并且上表面具有凹凸形状的保护膜(4)。而且,当梳型电极(22)的每个间距的间距宽度为p,每个电极指(22a)的宽度为p1,电极指(22a)间的宽度为p2,梳型电极(22)的厚度为h时,满足如下关系:p1+p2=p和h/(2×p)≥4.5%。根据此结构,可以获得能够实现适当的反射特性且具有良好的温度特性和电特性的声表面波器件(10)。

    弹性波元件和弹性波滤波器

    公开(公告)号:CN102204092A

    公开(公告)日:2011-09-28

    申请号:CN201080003110.3

    申请日:2010-02-23

    CPC classification number: H03H9/02992 H03H3/08 H03H9/02685 H03H9/14517

    Abstract: 本发明提供一种弹性波元件和弹性波滤波器。该弹性波元件具有叉指式换能器(IDT)电极、和与IDT电极对置的第一其它电极。IDT电极具有相互对置的第一和第二梳齿电极。第一梳齿电极包括:第一汇流条、多个第一交叉电极指、和多个第一虚设电极指。第二梳齿电极包括:第二汇流条、与多个第一交叉电极指在交叉区域交叉的多个第二交叉电极指、分别与多个第一交叉电极指对置的多个第二虚设电极指、多个加权部、和非加权部。多个加权部由设置在多个第二交叉电极指与多个第二虚设电极指之间的间隙部的电极构成。在非加权部中,在非交叉区域,在间隙部之中与其它电极最近的间隙部未设置电极。该弹性波元件可防止IDT电极与其它电极的短路,并且具有优异的抑制无用波的特性。

    弹性波元件
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101669285B

    公开(公告)日:2013-01-02

    申请号:CN200880013992.4

    申请日:2008-05-09

    CPC classification number: H03H9/0222

    Abstract: 本发明的弹性波元件,具备:压电基板、设置于压电基板上的梳形电极、覆盖梳形电极的氧化硅膜、设置于氧化硅膜上的氮氧化硅膜。氧化硅膜的膜厚H和在压电基板传播的弹性波的波长λ满足H/λ≥0.15的关系。该弹性波元件抑制弹性波的传播特性的变动,具有高可靠性。

    弹性波元件
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101669285A

    公开(公告)日:2010-03-10

    申请号:CN200880013992.4

    申请日:2008-05-09

    CPC classification number: H03H9/0222

    Abstract: 本发明的弹性波元件,具备:压电基板、设置于压电基板上的梳形电极、覆盖梳形电极的氧化硅膜、设置于氧化硅膜上的氮氧化硅膜。氧化硅膜的膜厚H和在压电基板传播的弹性波的波长λ满足H/λ≥0.15的关系。该弹性波元件抑制弹性波的传播特性的变动,具有高可靠性。

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