公开(公告)号：CN101163960B

公开(公告)日：2011-02-16

申请号：CN200680013064.9

申请日：2006-04-19

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 滨田泰三 ,  末永辰敏

IPC: G01N21/95

CPC classification number: G01N21/94 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/95 ,  G01N2021/8896 ,  G06T7/0006 ,  G06T7/12 ,  G06T2207/20164 ,  G06T2207/30108

Abstract: 本发明提供一种不会误识别、也无漏检、能够可靠检测镜面底板的边缘附近的异物的异物检查方法。包括被检查底板的图像数据步骤(ST1)、边缘增强处理步骤(ST2)、二值化处理步骤(ST3)、外周轮廓圆推定处理步骤(ST4)、内周轮廓圆推定处理步骤(ST5)、掩模处理步骤(ST6)、异物检测处理步骤(ST7)、以及位置图显示处理步骤(ST8)。针对拍摄有被检查底板的检查区域轮廓的图像数据步骤(ST1)进行边缘增强处理、二值化处理，接着检测表示检查区域轮廓的多个部位的标本点。接下来通过根据多个标本点的座标确定可缩小比例尺定义的轮廓线的尺寸、位置、转角来求出推定检查区域，对经过二值化处理的图像数据将推定检查区域以外部分掩模之后，进行异物检测处理步骤(ST7)。

公开(公告)号：CN101163960A

公开(公告)日：2008-04-16

申请号：CN200680013064.9

申请日：2006-04-19

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 滨田泰三 ,  末永辰敏

IPC: G01N21/95

CPC classification number: G01N21/94 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/95 ,  G01N2021/8896 ,  G06T7/0006 ,  G06T7/12 ,  G06T2207/20164 ,  G06T2207/30108

Abstract: 本发明提供一种不会误识别、也无漏检、能够可靠检测镜面底板的边缘附近的异物的异物检查方法。包括被检查底板的图像数据步骤(ST1)、边缘增强处理步骤(ST2)、二值化处理步骤(ST3)、外周轮廓圆推定处理步骤(ST4)、内周轮廓圆推定处理步骤(ST5)、掩模处理步骤(ST6)、异物检测处理步骤(ST7)、以及位置图显示处理步骤(ST8)。针对拍摄有被检查底板的检查区域轮廓的图像数据步骤(ST1)进行边缘增强处理、二值化处理，接着检测表示检查区域轮廓的多个部位的标本点。接下来通过根据多个标本点的坐标确定可缩小比例尺定义的轮廓线的尺寸、位置、转角来求出推定检查区域，对经过二值化处理的图像数据将推定检查区域以外部分掩模之后，进行异物检测处理步骤(ST7)。