公开(公告)号：CN1264197C

公开(公告)日：2006-07-12

申请号：CN02121827.7

申请日：2002-06-06

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 片冈雅雄

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/00

CPC classification number: B01D53/0407 ,  B01D2253/102 ,  B01D2257/30 ,  B01D2257/302 ,  B01D2257/40 ,  B01D2258/0216 ,  B01D2259/4148 ,  F24F3/161 ,  F24F2003/1621 ,  G03F7/3021 ,  G03F7/3092

Abstract: 显像装置的环境控制装置在晶片处理室中，对曝光了的抗蚀剂膜用显像液进行显像。空气供给装置将从外部取来的空气供给晶片处理室。在空气供给装置中备有从由外部取来的空气中除去化学污染物质的化学污染物质除去装置。

公开(公告)号：CN1207889C

公开(公告)日：2005-06-22

申请号：CN98116245.2

申请日：1998-08-06

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 小嶋章夫 ,  桑原康浩 ,  片冈雅雄 ,  仲昭行 ,  曾我美淳 ,  古贺敏明

IPC: H04N1/04 ,  G06T5/00

CPC classification number: H04N1/0402 ,  H04N1/4072

Abstract: 本发明的图像处理装置和图像读取装置采取，灰度差检测电路(8)检测位于由重复扫描造成的重叠扫描区的、输入的图像数据(400)与图像存储器(6)中存储的存储数据(64)之间的浓度差，浓度校正电路(9)根据检测出的浓度差校正输入的图像数据(400)的浓度，映射电路(5)将校正过的校正数据(910)存入图像存储器(6)的结构。

公开(公告)号：CN1211133A

公开(公告)日：1999-03-17

申请号：CN98116245.2

申请日：1998-08-06

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 小嶋章夫 ,  桑原康浩 ,  片冈雅雄 ,  仲昭行 ,  曾我美淳 ,  古贺敏明

IPC: H04N1/04 ,  G06T5/00

CPC classification number: H04N1/0402 ,  H04N1/4072

Abstract: 本发明的图像处理装置和图像读取装置采取,浓度差检测电路9检测位于由重复扫描造成的重叠扫描区的、输入的图像数据400与图像存储器6中存储的存储数据64之间的浓度差,浓度校正电路9根据检测出的浓度差校正输入的图像数据400的浓度,映射电路5将校正过的校正数据910存入图像存储器6的结构。

公开(公告)号：CN1389903A

公开(公告)日：2003-01-08

申请号：CN02121827.7

申请日：2002-06-06

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 片冈雅雄

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/00

CPC classification number: B01D53/0407 ,  B01D2253/102 ,  B01D2257/30 ,  B01D2257/302 ,  B01D2257/40 ,  B01D2258/0216 ,  B01D2259/4148 ,  F24F3/161 ,  F24F2003/1621 ,  G03F7/3021 ,  G03F7/3092

Abstract: 显像装置的环境控制装置在晶片处理室中,对曝光了的抗蚀剂膜用显像液进行显像。空气供给装置将从外部取来的空气供给晶片处理室。在空气供给装置中备有从由外部取来的空气中除去化学污染物质的化学污染物质除去装置。