树脂薄膜的制造方法和制造装置

    公开(公告)号:CN1522312A

    公开(公告)日:2004-08-18

    申请号:CN03800593.X

    申请日:2003-04-02

    CPC classification number: H01G4/145 B05D1/60 C23C14/12 C23C14/246 H01L51/5256

    Abstract: 储存在树脂材料槽内的液状树脂材料,通过使加压槽罐进行升压而经过一次侧供给管被压送到供给槽罐内。在供给槽罐内设置了根据供给槽罐内的树脂材料量而进行位移的活塞,利用活塞的行程来对树脂材料进行定量。被定量的树脂材料经过蒸发侧供给管被输送到加热构件上,被加热蒸发后附着到基板上。把树脂材料临时充填到供给槽罐内,以便对树脂材料进行定量,仅把被充填的树脂材料输送到加热构件上,所以,蒸发量是一定的,其结果,树脂薄膜的厚度稳定。

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