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公开(公告)号：CN107250052A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201680011629.3
申请日：2016-02-22
Abstract: 在超纯水制造/供给工艺中的使用点前的子系统或供水路径中，高度地去除水中的粒径为50nm以下尤其为10nm以下的极微小的微粒。水中微粒的去除装置具有膜过滤机构，该膜过滤机构具有含有弱阳离子性官能基的精密过滤膜或超过滤膜。作为具有弱阳离子性官能基的精密过滤膜或超过滤膜，优选为在聚酮膜中导入有弱阳离子性官能基的膜。通过弱阳离子性官能基，可吸附去除带负电的水中的微粒。
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公开(公告)号：CN105283422B
公开(公告)日：2017-09-22
申请号：CN201480033352.5
申请日：2014-07-22
Applicant: 栗田工业株式会社
CPC classification number: C02F9/00 , B01D61/022 , B01D61/025 , B01D61/142 , B01D61/145 , B01D61/147 , B01D61/58 , B01D65/02 , B01D2311/2623 , B01D2311/2692 , B01D2317/04 , B08B3/14 , B08B9/027 , B08B9/032 , C02F1/20 , C02F1/32 , C02F1/325 , C02F1/42 , C02F1/441 , C02F1/444 , C02F2103/04 , C02F2301/043 , C02F2303/04 , C02F2303/16
Abstract: 在进行杀菌洗涤时，不会将超纯水制造系统内的污染物质供给至通往水使用点的供给配管，并且在进行杀菌洗涤后会防止由微粒子去除膜所捕捉到的污染物质所造成的系统污染，而在短时间内将水质良好的超纯水供给至水使用点(Usepoint)。在至少具备：储槽(11)、泵(12)、热交换器(13)、紫外线装置(14)、离子交换装置(15)、及第1微粒子去除膜装置(16)的超纯水制造系统中，将第2微粒子去除膜装置(17)设置成与该第1微粒子去除膜装置(16)呈并列，并且将杀菌水及冲洗水的一部分供给至第1微粒子去除膜装置(16)，而不穿透薄膜来从给水侧朝浓缩水侧排出，剩余部分则会通过第2微粒子去除膜装置(17)。
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公开(公告)号：CN105517957A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201480048525.0
申请日：2014-10-30
Applicant: 栗田工业株式会社
CPC classification number: C02F1/325 , B01D15/363 , B01J31/28 , C02F1/32 , C02F1/42 , C02F1/444 , C02F1/722 , C02F1/725 , C02F9/00 , C02F2001/422 , C02F2103/04 , C02F2201/32 , C02F2303/18 , C02F2305/10
Abstract: 提供一种使来自紫外线氧化装置的紫外线氧化处理水与铂族金属负载催化剂树脂接触以制造纯水的方法及装置，其能够防止催化剂树脂的劣化，并且经过长时间也能稳定并分解处理过氧化氢。将被处理水用紫外线氧化装置(2)进行紫外线氧化处理后，再通过使用铂系催化剂的过氧化氢去除装置(4)进行过氧化氢去除处理的纯水制造方法及装置中，使向该紫外线氧化装置(2)的给水的TOC为5ppb以下，并且在紫外线氧化装置(2)的后段设置阴离子交换树脂塔(3)。
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公开(公告)号：CN102730796B
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201210094212.1
申请日：2012-03-29
Applicant: 栗田工业株式会社
IPC: C02F1/42
Abstract: 本发明提供一种离子交换装置，其能够可靠防止塔内部的阴离子交换树脂及阳离子交换树脂的逆再生，即使刚再生后也能生产高水质的脱离子水。该离子交换装置在再生时，关闭阀(12)，打开阀(7)、(10)，从上部供排配管(3)供给碱溶液，并从第三连通配管(8)供给酸溶液。碱溶液按照集配水构件(4)、非活性树脂(22)、阴离子交换树脂(21)、玻璃珠(23)、集配水构件(6)、连通配管(5)、阀(7)的顺序流动，使阴离子交换树脂(21)再生。酸溶液按照集配水构件(9)、非活性树脂(32)、阳离子交换树脂(31)、集配水构件(14)、玻璃珠(33)、下部供排配管(13)的顺序流动，使阳离子交换树脂(31)再生。
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公开(公告)号：CN106458647B
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201480079689.X
申请日：2014-06-10
Applicant: 栗田工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种再生型离子交换装置的运转方法，所述方法是进行中断将原水以向上流的方式通水的运转，然后再次开始运转的运转方式的再生型离子交换装置的运转方法，该方法不需要在再生型离子交换装置中设置特殊机构，操作容易，不耗费时间，是经济性的再生型离子交换装置的运转方法。将离子交换树脂4容纳在容器1内的再生型离子交换装置的运转方法，具有：原水通水工序，使原水在该再生型离子交换装置中以向上流的方式通水，以及，通水停止工序，停止使原水向该再生型离子交换装置通水；并且，在该原水通水工序结束后，通水停止工序前，具有施力水通水工序，所述施力水通水工序使在该容器中用于将离子交换树脂4向下方按压并使所述离子交换树脂层移动的施力水以向下流的方式通水。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105517960A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201480048799.X
申请日：2014-09-30
Applicant: 栗田工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种可稳定地制造微粒经高度去除的高水质的超纯水的超纯水制造装置。本发明的超纯水制造装置，其具有从一次纯水制造超纯水的次系统，在该次系统的最终段中设置有膜装置，其特征在于，该膜装置是以串联的方式设置有多段，并且，第1段的膜装置为UF膜装置、MF膜装置或RO膜装置，最终段的膜装置为UF膜装置或未经离子交换基修饰的MF膜装置。
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公开(公告)号：CN105283422A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201480033352.5
申请日：2014-07-22
Applicant: 栗田工业株式会社
CPC classification number: C02F9/00 , B01D61/022 , B01D61/025 , B01D61/142 , B01D61/145 , B01D61/147 , B01D61/58 , B01D65/02 , B01D2311/2623 , B01D2311/2692 , B01D2317/04 , B08B3/14 , B08B9/027 , B08B9/032 , C02F1/20 , C02F1/32 , C02F1/325 , C02F1/42 , C02F1/441 , C02F1/444 , C02F2103/04 , C02F2301/043 , C02F2303/04 , C02F2303/16
Abstract: 在进行杀菌洗涤时，不会将超纯水制造系统内的污染物质供给至通往水使用点的供给配管，并且在进行杀菌洗涤后会防止由微粒子去除膜所捕捉到的污染物质所造成的系统污染，而在短时间内将水质良好的超纯水供给至水使用点(Usepoint)。在至少具备：储槽(11)、泵(12)、热交换器(13)、紫外线装置(14)、离子交换装置(15)、及第1微粒子去除膜装置(16)的超纯水制造系统中，将第2微粒子去除膜装置(17)设置成与该第1微粒子去除膜装置(16)呈并列，并且将杀菌水及冲洗水的一部分供给至第1微粒子去除膜装置(16)，而不穿透薄膜来从给水侧朝浓缩水侧排出，剩余部分则会通过第2微粒子去除膜装置(17)。
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公开(公告)号：CN1938829A
公开(公告)日：2007-03-28
申请号：CN200580010034.8
申请日：2005-03-18
Applicant: 栗田工业株式会社
IPC: H01L21/304 , C02F1/02 , C02F1/32 , C02F1/34 , C02F1/36 , C02F1/70 , H01L21/027
CPC classification number: C02F1/78 , B08B3/08 , B08B2203/005 , C01B13/10 , C02F1/02 , C02F1/32 , C02F1/34 , C02F1/36 , C02F1/70 , C02F1/722 , C02F2201/782 , C02F2209/23 , C03C23/0075
Abstract: 一种臭氧水供给方法，其特征在于将具有臭氧分解抑制物质的臭氧水转送到使用点(7)，在使用点附近，通过浓度调整机构，将该水的浓度降低到规定的臭氧浓度。一种臭氧水供给装置，其特征在于该臭氧水供给装置包括臭氧溶解装置(4)，其将臭氧气体溶解于纯水中，调制臭氧水；将臭氧分解抑制物质供给到上述纯水或上述臭氧水中的机构；臭氧水转送配管(6)，该臭氧水转送配管将通过上述臭氧溶解装置调制的臭氧水转送到使用点；浓度调整机构(8)，该浓度调整机构设置于使用点附近，将通过臭氧水转送配管转送的臭氧水降低到规定的臭氧浓度。通过本装置，可在半导体、液晶等的电子材料的湿式清洗工序、表面处理工序等中，稳定地将规定的臭氧浓度的臭氧水供向使用点。
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公开(公告)号：CN118019975A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202280065820.1
申请日：2022-09-07
Applicant: 栗田工业株式会社 , 国立大学法人熊本大学
IPC: G01N33/18
Abstract: 一种纯水中的离子成分的分析方法，其对试样超纯水进行浓缩并通过分析机构进行分析，其特征在于，通过电透析装置对试样超纯水进行浓缩。电透析装置是第二电透析装置(20)，向第一生成室(27)通入试样超纯水，向第二生成室(28)通入高纯度硝酸水溶液，自第二生成室(28)取出分析用浓缩水。通入至第二生成室(28)的高纯度硝酸水溶液是利用第一电透析装置(10)对硝酸钾水溶液进行透析处理而生成。
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公开(公告)号：CN101663094B
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN200880012332.4
申请日：2008-04-15
Abstract: 本发明涉及阴离子交换树脂的制造方法、阴离子交换树脂、阳离子交换树脂的制造方法、阳离子交换树脂、混床树脂和电子部件和/或材料清洗用超纯水的制造方法。该阴离子交换树脂的制造方法包括下述(1-a)～(1-e)工序，该方法抑制了杂质的残存和分解物的产生，并且溶出物少。(1-a)工序：使单乙烯基芳香族单体和交联性芳香族单体共聚，得到交联共聚物；(1-b)工序：相对于1g交联共聚物，使特定的溶出性化合物的含量为400μg以下；(1-c)工序：对交联共聚物进行卤烷基化，将相对于单乙烯基芳香族单体为80摩尔％以下的卤烷基导入；(1-d)工序：从卤烷基化交联共聚物中除去特定的溶出性化合物；(1-e)工序：使卤烷基化交联共聚物与胺化合物反应。
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