公开(公告)号：CN102692203B

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：CN201210149384.4

申请日：2012-03-19

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 大森义幸 ,  三木章生

IPC: G01B21/20 ,  G01B21/30

CPC classification number: G01B21/042 ,  G01B5/201 ,  G01B5/28

Abstract: 校准表面结构测量装置的方法，包括：获取Y轴形状测量数据和最大直径部分，以从当向下的和向上的触针分别与参考球的上和下表面接触时通过在Y轴方向上相对移动而获取的Y轴上部和下部形状数据来获取参考球的上部和下部最大直径部分；获取X轴形状测量数据，从而当向下的触针与参考球的上部直径部分接触以及向上的触针与参考球的下部直径部分接触时，通过相对地在X轴方向移动来获取参考球的X轴上部和下部形状数据；以及由形状数据获取的中心坐标O3和O4计算向上的和向下的触针的偏移量Δx和Δz。

公开(公告)号：CN102692203A

公开(公告)日：2012-09-26

申请号：CN201210149384.4

申请日：2012-03-19

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 大森义幸 ,  三木章生

IPC: G01B21/20 ,  G01B21/30

CPC classification number: G01B21/042 ,  G01B5/201 ,  G01B5/28

Abstract: 校准表面结构测量装置的方法，包括：获取Y轴形状测量数据和最大直径部分，以从当向下的和向上的触针分别与参考球的上和下表面接触时通过在Y轴方向上相对移动而获取的Y轴上部和下部形状数据来获取参考球的上部和下部最大直径部分；获取X轴形状测量数据，从而当向下的触针与参考球的上部直径部分接触以及向上的触针与参考球的下部直径部分接触时，通过相对地在X轴方向移动来获取参考球的X轴上部和下部形状数据；以及由形状数据获取的中心坐标O3和O4计算向上的和向下的触针的偏移量Δx和Δz。