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公开(公告)号：CN1298089A
公开(公告)日：2001-06-06
申请号：CN00135081.1
申请日：2000-11-30
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B7/04 , G01B101/50
CPC classification number: G01D5/2415
Abstract: 一种能抑制发送电极与检测电极间的串音的静电电容式传感器,在传感器的电极部设有发送电极10和检测电极12,与设于相对的标尺上的接收电极电容耦合。用检测电极12检测变位引起的发送电极10与接收电极间的电容变化向发送电极10供给相位不同的多个信号。各信号线用上下两层Z字形布线,使各信号线与检测电极12间的距离平均化,使相对检测电极12的串音量变均匀。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101566485B
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN200910137722.0
申请日：2009-04-27
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01D5/34
CPC classification number: G01D5/34707
Abstract: 本发明提供光电编码器的光栅尺，该光栅尺有效地保护其基底不腐蚀、锈蚀和破裂。该光栅尺具有：基底(10)；吸光层(12)，包括至少形成在基底(10)的表面的区域上的DLC层；以及反光层(14)，对落入波长范围的光具有比吸光层(12)更高的反射率，并且在吸光层(12)上形成为光栅。
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公开(公告)号：CN101566485A
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200910137722.0
申请日：2009-04-27
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01D5/34
CPC classification number: G01D5/34707
Abstract: 本发明提供光电编码器的光栅尺，该光栅尺有效地保护其基底不腐蚀、锈蚀和破裂。该光栅尺具有：基底(10)；吸光层(12)，包括至少形成在基底(10)的表面的区域上的DLC层；以及反光层(14)，对落入波长范围的光具有比吸光层(12)更高的反射率，并且在吸光层(12)上形成为光栅。
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公开(公告)号：CN101484780A
公开(公告)日：2009-07-15
申请号：CN200780024862.6
申请日：2007-06-01
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01D5/30
CPC classification number: G01D5/34746 , G01D5/347 , G01D5/34707 , G01D5/34792
Abstract: 本发明提供一种反射型编码器、其标尺以及标尺的制造方法。该反射型编码器具有光源、形成从该光源照射光的多个图形的标尺、以及分别接收由上述多个图形各自反射的光的受光元件，从单个标尺得到多个受光信号，该反射型编码器在上述标尺的单一轨道上，使用电介质形成厚度不同的多个图形，并且从上述光源，照射根据电介质厚度的差而明暗不同的多个波长的光，得到按每个电介质厚度的受光信号，由此将多个图形叠加在同一轨道上来使标尺小型化。
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公开(公告)号：CN101484780B
公开(公告)日：2011-07-06
申请号：CN200780024862.6
申请日：2007-06-01
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01D5/30
CPC classification number: G01D5/34746 , G01D5/347 , G01D5/34707 , G01D5/34792
Abstract: 本发明提供一种反射型编码器、其标尺以及标尺的制造方法。该反射型编码器具有光源、形成从该光源照射光的多个图形的标尺、以及分别接收由上述多个图形各自反射的光的受光元件，从单个标尺得到多个受光信号，该反射型编码器在上述标尺的单一轨道上，使用电介质形成厚度不同的多个图形，并且从上述光源，照射根据电介质厚度的差而明暗不同的多个波长的光，得到按每个电介质厚度的受光信号，由此将多个图形叠加在同一轨道上来使标尺小型化。
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公开(公告)号：CN1155794C
公开(公告)日：2004-06-30
申请号：CN00135081.1
申请日：2000-11-30
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G01D5/2415
Abstract: 一种能抑制发送电极与检测电极间的串音的静电电容式传感器，在传感器的电极部设有发送电极(10)和检测电极(12)，与设于相对的标尺上的接收电极电容耦合。用检测电极(12)检测变位引起的发送电极(10)与接收电极间的电容变化向发送电极(10)供给相位不同的多个信号。各信号线用上下两层Z字形布线，使各信号线与检测电极(12)间的距离平均化，使相对检测电极(12)的串音量变均匀。
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