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公开(公告)号：CN118242976A
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202311758381.5
申请日：2023-12-20
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明提供一种在配置测定对象物时不会导致作业性降低且能够抑制测定精度降低的光学式测定装置。光学式测定装置具备：测定区域，其配置有测定对象物；光束扫描部，其向测定区域照射光束并使光束沿与光束的照射方向交叉的扫描方向进行扫描；受光部，其接收通过了测定区域的光束并输出受光信号；信号处理部，其基于受光信号而输出表示测定对象物的扫描方向上的尺寸的数据；光路罩，其构成为相对于光束扫描部的框体能够装卸并在从框体到测定对象物的范围内覆盖光束的光路。
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