公开(公告)号：CN101579785A

公开(公告)日：2009-11-18

申请号：CN200910139046.0

申请日：2009-05-15

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 冈部宪嗣 ,  田中祥一 ,  黑川昌史

IPC: B23K26/00

CPC classification number: B23K26/0613 ,  B23K26/0604 ,  B23K26/066 ,  B23K2101/36

Abstract: 本发明公开一种激光加工装置(1)。在设置有位于激光振荡部(10)中的激光化学汽相淀积用激光振荡器(11)和激光修理用激光振荡器(12)的激光加工装置(1)中，通过本体部(1000)的激光振荡器切换程序(510A)切换激光振荡器(11)或(12)而发射的激光光束通过光路形成部(30)而沿着同一缝部到达样本并进行激光加工。此外，物镜配置成通过物镜部(60)的物镜切换部(61)而切换为具有对应于从激光振荡部(10)发射的激光光束的波长的倍率的物镜。

公开(公告)号：CN106248021B

公开(公告)日：2019-11-22

申请号：CN201610391310.X

申请日：2016-06-03

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 田中祥一

IPC: G01B21/04

Abstract: 在使被测物体和非接触式探针相对移位的同时测量被测物体的尺寸等的测量机的碰撞防止装置。该碰撞防止装置包括：棒状的主轴，其与非接触式探针并排地延伸；支撑机构，其以使得主轴的前端比非接触式探针突出的方式支撑主轴；以及开关，其检测主轴与被测物体之间的碰撞。

公开(公告)号：CN106248021A

公开(公告)日：2016-12-21

申请号：CN201610391310.X

申请日：2016-06-03

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 田中祥一

IPC: G01B21/04

Abstract: 在使被测物体和非接触式探针相对移位的同时测量被测物体的尺寸等的测量机的碰撞防止装置。该碰撞防止装置包括：棒状的主轴，其与非接触式探针并排地延伸；支撑机构，其以使得主轴的前端比非接触式探针突出的方式支撑主轴；以及开关，其检测主轴与被测物体之间的碰撞。

公开(公告)号：CN101579785B

公开(公告)日：2013-08-28

申请号：CN200910139046.0

申请日：2009-05-15

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 冈部宪嗣 ,  田中祥一 ,  黑川昌史

IPC: B23K26/00

CPC classification number: B23K26/0613 ,  B23K26/0604 ,  B23K26/066 ,  B23K2101/36

Abstract: 本发明公开一种激光加工装置(1)。在设置有位于激光振荡部(10)中的激光化学汽相淀积用激光振荡器(11)和激光修理用激光振荡器(12)的激光加工装置(1)中，通过本体部(1000)的激光振荡器切换程序(510A)切换激光振荡器(11)或(12)而发射的激光光束通过光路形成部(30)而沿着同一缝部到达样本并进行激光加工。此外，物镜配置成通过物镜部(60)的物镜切换部(61)而切换为具有对应于从激光振荡部(10)发射的激光光束的波长的倍率的物镜。