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公开(公告)号:CN101146741A
公开(公告)日:2008-03-19
申请号:CN200680009747.7
申请日:2006-03-27
Applicant: 株式会社丰田自动织机 , 国立大学法人爱媛大学
CPC classification number: C23C16/26 , B01J19/088 , B01J2219/0809 , B01J2219/083 , B01J2219/0877 , H05H1/46 , H05H1/48 , H05H2001/466
Abstract: 本发明所述用于制造无定形碳膜的方法是用于制造无定形碳膜的方法,包括将基底S的表面与气泡B接触,其中该气泡已经形成于含有有机化合物的液体L中,并且气泡内部已经产生等离子体,从而在基底S的表面上形成无定形碳膜,所述液体L包含选自碳数目为1到12的酚和醇中的一种或多种。根据本发明的方法,硬的无定形碳膜可以很容易地形成。
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公开(公告)号:CN101146741B
公开(公告)日:2011-05-25
申请号:CN200680009747.7
申请日:2006-03-27
Applicant: 株式会社丰田自动织机 , 国立大学法人爱媛大学
CPC classification number: C23C16/26 , B01J19/088 , B01J2219/0809 , B01J2219/083 , B01J2219/0877 , H05H1/46 , H05H1/48 , H05H2001/466
Abstract: 本发明所述用于制造无定形碳膜的方法是用于制造无定形碳膜的方法,包括将基底S的表面与气泡B接触,其中该气泡已经形成于含有有机化合物的液体L中,并且气泡内部已经产生等离子体,从而在基底S的表面上形成无定形碳膜,所述液体L包含选自碳数目为1到12的酚和醇中的一种或多种。根据本发明的方法,硬的无定形碳膜可以很容易地形成。
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