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公开(公告)号：CN105492121A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201480045587.6
申请日：2014-08-02
Applicant: 株式会社创意科技
CPC classification number: B03C3/47 , B03C3/06 , B03C3/41 , B03C3/49 , B03C3/68 , B03C2201/24 , B03C2201/32
Abstract: 本发明提供一种不需要定期性实施颗粒的去除作业而能够几乎完全去除颗粒的颗粒收集系统及集尘方法。本发明的颗粒收集系统(1-1)具备集尘部(2)、电源部(3)、以及静电容量计测部(4)。集尘部(2)是由第一及第二电极(21、22)、第二电极(22)以及覆盖此等电极的介电质(20)所成。电源部(3)为对第一及第二电极(21、22)供给电源电压的部分。静电容量计测部(4)为计测集尘部(2)的静电容量的部分，计测第一及第二电极(21、22)间的静电容量。
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公开(公告)号：CN105492121B
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201480045587.6
申请日：2014-08-02
Applicant: 株式会社创意科技
CPC classification number: B03C3/47 , B03C3/06 , B03C3/41 , B03C3/49 , B03C3/68 , B03C2201/24 , B03C2201/32
Abstract: 本发明提供一种不需要定期性实施颗粒的去除作业而能够几乎完全去除颗粒的颗粒收集系统及集尘方法。本发明的颗粒收集系统(1‑1)具备集尘部(2)、电源部(3)、以及静电容量计测部(4)。集尘部(2)是由第一及第二电极(21、22)、第二电极(22)以及覆盖此等电极的介电质(20)所成。电源部(3)为对第一及第二电极(21、22)供给电源电压的部分。静电容量计测部(4)为计测集尘部(2)的静电容量的部分，计测第一及第二电极(21、22)间的静电容量。
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公开(公告)号：CN104938038A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201480005750.6
申请日：2014-01-09
Applicant: 株式会社创意科技
CPC classification number: H01J37/32348 , H01J2237/335 , H05H1/2406 , H05H2001/2418 , H05H2245/1225
Abstract: 本发明提供一种等离子体产生装置，可制作大规模且对应各种面形状的装置，并且可使装置寿命长寿命化及节省能源化。等离子体产生装置(1-1)具备电介质层(3)、形成于电介质层(3)内的第1及第2电极(4),(5)、交流电源(6)、第1金属层(7)。电介质层(3)是由聚酰亚胺树脂的高分子树脂层(31),(32)而成。电极(4),(5)为横向并列配置于电介质层(3)内。第1金属层(7)是由具有杀菌作用的金属所形成，且其表面具有多个孔(71)。第1金属层(7)为架设于高分子树脂层(32)的支撑部(33),(34)上，与电极(4),(5)整体面对面，并且于与高分子树脂层(32)之间分隔出间隙S。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104838484A
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201380059697.3
申请日：2013-09-24
Applicant: 株式会社创意科技
IPC: H01L21/683 , B23Q3/15 , H02N13/00
CPC classification number: H02N13/00 , H01L21/6833
Abstract: 本发明提供一种静电夹盘及供电系统，即使在真空环境内也不会产生放电，而能够进行高电压驱动，并且能够谋求对静电夹盘的供电系统的构造的简化。供电系统具备静电夹盘(2)、及电性接触机构(4)，该静电夹盘(2)具有升压电路(3)。仅将升压电路(3)的端子(31a、32a)露出于外部。端子(31b、32b)连接在吸附电极(23)。电性接触机构(4)为以轨条(41、42)、及与这些轨条(41、42)接触的可挠性接触件(43、44)所构成。轨条(41、42)连接在外部电源(40)，而可挠性接触件(43、44)设置于静电夹盘(2)的导电板(45、46)。导电板(45、46)连接于升压电路(3)的端子(31a、32a)。
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公开(公告)号：CN104838484B
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201380059697.3
申请日：2013-09-24
Applicant: 株式会社创意科技
IPC: H01L21/683 , B23Q3/15 , H02N13/00
Abstract: 本发明提供一种静电夹盘及供电系统，即使在真空环境内也不会产生放电，而能够进行高电压驱动，并且能够谋求对静电夹盘的供电系统的构造的简化。供电系统具备静电夹盘(2)、及电性接触机构(4)，该静电夹盘(2)具有升压电路(3)。仅将升压电路(3)的端子(31a、32a)露出于外部。端子(31b、32b)连接在吸附电极(23)。电性接触机构(4)为以轨条(41、42)、及与这些轨条(41、42)接触的可挠性接触件(43、44)所构成。轨条(41、42)连接在外部电源(40)，而可挠性接触件(43、44)设置于静电夹盘(2)的导电板(45、46)。导电板(45、46)连接于升压电路(3)的端子(31a、32a)。
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公开(公告)号：CN104854692B
公开(公告)日：2017-09-08
申请号：CN201380059698.8
申请日：2013-10-21
Applicant: 株式会社创意科技
IPC: H01L21/683 , C03C17/00 , C23C14/50
CPC classification number: H02N13/00 , B65G49/061 , C03C17/002 , C23C14/50 , H01L21/6831 , Y10T29/49998
Abstract: 本发明提供一种静电夹盘、玻璃基板处理方法及其玻璃基板，其通过将基材予以轻量化且强度化，借此维持基材的平坦度，并防止被加工板体的落下等，并且能够对于被加工板体进行高速且高质量的处理。静电夹盘1具备有基材2、及静电吸附层3。基材2由底面板20、侧面板21至24、以及顶面板25所形成，且在基材2的内部构成有多巢构造部4。多巢构造部4为通过正六角形筒状体40所成的蜂巢构造体，而谋求基材2的轻量化、及强度化。静电吸附层3为利用介电体31、及吸附电极32所构成，且利用接着材30接着在基材2上表面。介电体31为将表面设为玻璃基板W的吸附面的介电体，且在内部收纳吸附电极32。
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公开(公告)号：CN104938038B
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：CN201480005750.6
申请日：2014-01-09
Applicant: 株式会社创意科技
CPC classification number: H01J37/32348 , H01J2237/335 , H05H1/2406 , H05H2001/2418 , H05H2245/1225
Abstract: 本发明提供一种等离子体产生装置，可制作大规模且对应各种面形状的装置，并且可使装置寿命长寿命化及节省能源化。等离子体产生装置(1‑1)具备电介质层(3)、形成于电介质层(3)内的第1及第2电极(4),(5)、交流电源(6)、第1金属层(7)。电介质层(3)是由聚酰亚胺树脂的高分子树脂层(31),(32)而成。电极(4),(5)为横向并列配置于电介质层(3)内。第1金属层(7)是由具有杀菌作用的金属所形成，且其表面具有多个孔(71)。第1金属层(7)为架设于高分子树脂层(32)的支撑部(33),(34)上，与电极(4),(5)整体面对面，并且于与高分子树脂层(32)之间分隔出间隙S。
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公开(公告)号：CN104854692A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201380059698.8
申请日：2013-10-21
Applicant: 株式会社创意科技
IPC: H01L21/683 , C03C17/00 , C23C14/50
CPC classification number: H02N13/00 , B65G49/061 , C03C17/002 , C23C14/50 , H01L21/6831 , Y10T29/49998
Abstract: 本发明提供一种静电夹盘、玻璃基板处理方法及其玻璃基板，其通过将基材予以轻量化且强度化，借此维持基材的平坦度，并防止被加工板体的落下等，并且能够对于被加工板体进行高速且高质量的处理。静电夹盘1具备有基材2、及静电吸附层3。基材2由底面板20、侧面板21至24、以及顶面板25所形成，且在基材2的内部构成有多巢构造部4。多巢构造部4为通过正六角形筒状体40所成的蜂巢构造体，而谋求基材2的轻量化、及强度化。静电吸附层3为利用介电体31、及吸附电极32所构成，且利用接着材30接着在基材2上表面。介电体31为将表面设为玻璃基板W的吸附面的介电体，且在内部收纳吸附电极32。
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