公开(公告)号：CN103650067A

公开(公告)日：2014-03-19

申请号：CN201280031175.8

申请日：2012-06-22

Applicant: 株式会社可乐丽

Inventor： 田边裕史 ,  大竹富明 ,  松木浩志

IPC: H01B13/00 ,  G09F9/30 ,  H01L21/28 ,  H01L21/314 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/768 ,  H01L23/532

CPC classification number: C01B31/0253 ,  B29D7/01 ,  C01B32/168 ,  G02F1/13439 ,  H01L21/76838 ,  H01L21/76888 ,  H01L23/53276 ,  H01L31/022466 ,  H01L31/1884 ,  H01L51/0015 ,  H01L51/0023 ,  H01L51/444 ,  H01L51/5206 ,  H01L2924/0002 ,  Y02E10/549 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供一种分辨率高的导电性图案。一种规定图案的导电膜形成方法，其特征在于，具备设置导电性碳纳米管层的工序、以及对上述工序中设置的导电性碳纳米管层的所述规定图案对应位置以外的区域照射紫外线的紫外线照射工序，其中，紫外线照射区域的导电性碳纳米管改性为绝缘性，紫外线未照射区域的导电性碳纳米管保持导电性。