公开(公告)号：CN109791099B

公开(公告)日：2021-06-08

申请号：CN201780032276.X

申请日：2017-09-27

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 永濑正明 ,  相川献治 ,  平田薰 ,  今井嵩浩 ,  成富哲央 ,  篠原努 ,  松田隆博 ,  西野功二

IPC: G01N9/26

Abstract: 本发明提供一种浓度检测方法，为检测混合气体中所包含的规定气体的浓度的方法，包含：在具备节流部、设置于节流部的上游侧的上游阀以及测量节流部与上游阀之间的压力的压力传感器的压力式流量控制装置中，在节流部的下游侧的压力比节流部的上游侧的压力低的状态下使混合气体从上游阀的上游侧流动的工序；通过压力传感器检测使上游阀从打开变化为关闭之后产生的压力下降特性的工序；以及基于压力下降特性检测混合气体中的规定气体的浓度的工序。

公开(公告)号：CN109791099A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201780032276.X

申请日：2017-09-27

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 永濑正明 ,  相川献治 ,  平田薰 ,  今井嵩浩 ,  成富哲央 ,  篠原努 ,  松田隆博 ,  西野功二

IPC: G01N9/26

CPC classification number: G01N9/26

Abstract: 本发明提供一种浓度检测方法，为检测混合气体中所包含的规定气体的浓度的方法，包含：在具备节流部、设置于节流部的上游侧的上游阀以及测量节流部与上游阀之间的压力的压力传感器的压力式流量控制装置中，在节流部的下游侧的压力比节流部的上游侧的压力低的状态下使混合气体从上游阀的上游侧流动的工序；通过压力传感器检测使上游阀从打开变化为关闭之后产生的压力下降特性的工序；以及基于压力下降特性检测混合气体中的规定气体的浓度的工序。