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公开(公告)号：CN110832236A
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201880044044.0
申请日：2018-06-12
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K7/17 , F16F15/02 , F16F15/073 , H02N2/18
Abstract: 提供一种能够搭载各种电子设备并且解决了布线、电池更换的问题的具有发电功能的气动式阀装置。具有：致动器(7)，其具有壳体部(10、11)和可动部(13)，该可动部(13)收纳在利用驱动流体驱动而使阀芯沿着关闭方向或打开方向移动的壳体部(10、11)；弹簧构件(30)，其对可动部(13)向抵抗驱动流体的驱动力的方向施力；以及发电减振单元(100)，其包括利用了压电元件的压电效应的、将由致动器(7)的动作所产生的振动系统的振动转换为电力的发电功能和抑制施加于装置的振动的减振功能。
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公开(公告)号：CN111295544A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201880071418.8
申请日：2018-10-24
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种组装有节流孔、过滤器等功能部件的流路组件，功能部件与划定流路的流路部件之间被长期可靠地密封。在流路构件(51、52)的相对面(51f、52f)的外侧具有介于流路构件(51、52)之间的环状的弹性构件(54)，流路构件(52)具有凿紧部(52e_c)，凿紧部(52e_c)将流路构件(51、52)和板状构件一体化，以相对面(51f、52f)中的一者朝向相对面(51f、52f)中的另一者的方式对流路构件(52)施加力，对作为板状构件的节流孔板(53)与相对面(51f、52f)之间进行密封，弹性构件(54)在流路构件(51、52)之间被压扁而对流路构件(51、52)之间进行密封。
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公开(公告)号：CN111065852A
公开(公告)日：2020-04-24
申请号：CN201880056569.6
申请日：2018-08-17
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种实现小型化并且不使用焊接就能够进行制造的接头块。该接头块具有块主体(10)和安装在形成于块主体(10)的长度方向的另一端侧的凹部(15)的封闭构件(50)，该接头块具有：密封机构，其具有形成于块主体(10)的相对面(15b)的圆环状突起(13)，并且在第1流路(12c)的开口(12p)的周围圆环状突起(13)咬入于另一方的相对面(50e)，由此将块主体(10)与封闭构件(50)之间密封；铆接部(16)，其是将封闭构件(50)朝向块主体(10)的相对面(15b)按压而在块主体(10)形成的；以及卡合部(EN)，其由凹部(15)的内周部(15a)和封闭构件(50)的与凹部(15)的内周部(15a)卡合的外周部(51)形成，由铆接部(16)和卡合部(EN)分担将密封机构的圆环状突起(13)向另一方的相对面(50e)按压的按压力。
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公开(公告)号：CN109563942A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201780039064.4
申请日：2017-06-19
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 本发明提供一种流体控制装置，其能够在不减少流体的供给流量的前提下进一步实现小型化、集成化，并且能够大幅度削减组装工时，还能够改善维护性能。上游侧接头块体(20)的螺纹孔(25a)仅形成于在长度方向上比其流路口(24a)靠上游侧的位置，下游侧接头块体(20)的螺纹孔(25a)仅形成于在长度方向上比其流路口(24a)靠下游侧的位置，在引导部(55)与卡合部(22)之间具有排列机构(55f、22f)，该排列机构(55f、22f)利用克服在互相连结的上游侧接头块体(20)、下游侧接头块体(20)和主体(113)上因紧固螺栓(BT)的紧固力而产生的弯曲力的反作用力(R1、R2)的一部分，使上游侧接头块体(20)和下游侧接头块体(20)的在与引导部(55)的长度方向正交的横向上的位置排列于引导部(55)的中央位置(CP)。
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公开(公告)号：CN109312874A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201780039076.7
申请日：2017-06-19
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 本发明提供一种流体控制装置，其能够在不减少流体的供给流量的前提下进一步实现小型化、集成化，并且能够大幅度削减组装工时，还能够改善维护性能。接头块体(20)的流体流路(23)包括垂直流路(23a)和水平流路(23c)，接头块体(20)以能够沿长度方向(G1、G2)移动的方式约束在导轨构件(50)上，流体控制设备(110)借助接头块体(20)支承于导轨构件(50)，具有螺纹孔(25a)，贯穿流体控制设备(110A)的主体(113)的紧固螺栓(BT)螺纹结合于该螺纹孔(25a)，接头块体(20)与主体(113)之间的垫片(120)在紧固螺栓(BT)的紧固力的作用下，在主体(113)与接头块体(20)之间被压缩，螺纹孔(25a)的顶端部在水平流路(23c)的上方封闭，并且在俯视时螺纹孔(25a)的至少一部分与水平流路(23c)重合。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112930454A
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN201980070726.3
申请日：2019-10-21
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 提供一种用于半导体制造工艺等的阀装置，该阀装置具有更适合于小型化、集成化的构造。该阀装置具有：阀体(3)，其收纳于收纳凹部(35)，并且在底面具有第1端口(3p1)和第2端口(3p2)；以及阀盖螺母(20)，其在外周形成螺纹部(20a)并且螺纹部(20a)与收纳凹部(35)的内周螺纹结合，由此，将阀体(3)朝向收纳凹部(35)的底部按压，并且将该阀体(3)固定于流路块(30)，阀体(3)具有在第1端口(3p1)和第2端口(3p2)的周围自底面(3d)突出地形成的密封用的第1环状突起(4a)和第2环状突起(4b)，所述第1环状突起(4a)和所述第2环状突起(4b)形成为共用局部。
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公开(公告)号：CN111417809A
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN201880076979.7
申请日：2018-11-12
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种组装有节流孔并且能够以低成本进行制造的阀装置。阀体(20)划定在阀体(20)的表面开口并且内置有阀元件的收纳凹部(22)、以及与收纳凹部(22)连接的初级侧流路(21)和次级侧流路(24)，阀元件(2)具有将初级侧流路(21)和次级侧流路(24)之间的通过收纳凹部(22)的直接的连通切断的密封部(50b2、50b3)、以及通过阀元件(2)而使初级侧流路(21)和次级侧流路(24)连通的贯通流路(50、16p)，在贯通流路(50、16p)形成有节流孔(16p)。
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公开(公告)号：CN111344510A
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN201880071291.X
申请日：2018-10-22
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种能够维持装置的小型化并且能够将向初级侧的流路流入的多个流体在次级侧分流为许多个的阀装置。阀元件(2A、2B)具有阀座(16)、阀座支承件(50)、以及设置为能够与阀座(16)的座面抵接和分离的隔膜(14)，隔膜(14)通过该隔膜(14)与阀座(16)之间的间隙而使阀座(16)的流通流路(16a)和对应的次级侧流路(24)连通，阀座支承件(50)具有与对应的收纳凹部(22)的内壁面的一部分协同动作而将对应的初级侧流路(21)和次级侧流路(24)之间的连通切断的密封面(50b2，50b3)、以及连接初级侧流路(21)和流通流路(16a)的迂回流路(50a)，阀体(20)划定使次级侧流路(24A、24B)彼此连通的连通流路(24C)。
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公开(公告)号：CN111213109A
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN201880066503.5
申请日：2018-10-05
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明根据利用多个流体控制设备而构成的流体供给管线整体的动作来诊断流体控制设备的异常。流体供给管线利用以流体密封方式连通的多个流体控制设备(F、V1、V2)而构成，诊断流体供给管线的异常的方法包括：阀操作工序，将流量控制装置内阀(FV)、阀(V1)和阀(V2)中的任一个或多个阀打开或关闭；压力调整工序，使自阀(V1)经由流量控制装置至阀(V2)的流路(R1、R2)内的一部分或全部为真空状态或加压状态；压力检测工序，通过压力检测机构(P1、P2)来获取流量控制装置(F)的流路内随时间推移的压力特性；以及异常判定工序，将由压力检测机构(P1、P2)获取的异常诊断时的压力特性与在同一条件下预先测定的正常时的压力特性进行对比，来判定异常的有无。
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公开(公告)号：CN111033104A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201880051365.3
申请日：2018-08-28
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明通过提供使布线简化的阀以及搭载有该阀的流体供给管线来提高材料气体的控制的精度。阀(V)具备阀本体(3)和与阀本体(3)连结的驱动压力控制装置(4)。驱动压力控制装置(4)具有：驱动压力导入通道(431)，与管线外的驱动压力供给源(G)连接；自动阀(411)，将驱动压力导入通道(431)打开或关闭；驱动压力导入通道(433)，与阀本体(3)的驱动压力导入口(3a)连结；自动阀(412)，与自动阀(411)联动来将驱动压力导入通道(433)打开或关闭，并将从驱动压力导入通道(433)释放驱动压力的排气通路(44)打开或关闭；以及驱动压力导入通道(432)，经由自动阀(411)和自动阀(412)来连结驱动压力导入通道(431)与驱动压力导入通道(433)。
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