-
公开(公告)号:CN113892005A
公开(公告)日:2022-01-04
申请号:CN202080038543.6
申请日:2020-06-10
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种流体控制装置,其能够抑制对气体管线加热的加热器的热对相邻的流体控制设备产生的影响。在流体控制装置(1)中,气体管线(3)具备:沿着第一方向(D1)设置的树脂部件(4);设置在树脂部件(4)上的第一托架(20);设置在第一托架(20)上的多个接头(9);设置于多个接头(9)的多个流体控制设备(10~16);以及安装于多个接头(9)以及多个流体控制设备(10~16)的加热器(18),第一托架(20)具备:固定于树脂部件(4)的第一固定部(21);从第一固定部(21)向远离底板(2)的方向延伸的第一脚部(22);以及从第一脚部(22)的相对于第一固定部(21)侧的相反侧的端部以与第一脚部(22)交叉的方式突出,并且设置有接头(9)的第一设置部(23)。
-
公开(公告)号:CN112888893A
公开(公告)日:2021-06-01
申请号:CN201980069490.1
申请日:2019-10-03
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 流体供给系统1并列地排列有多条流体管线8,该流体管线8是流体控制器2和接头4通过配管6串联连接而成的,各流体管线8在从包含各流体管线8的排列方向Y的平面观察时,在与排列方向Y实质上正交的延设方向X上呈直线状延设,各流体控制器2使得连接配管6的连接面2a、2b朝向同一方向、且在排列方向Y上并排配置,配管6的直径Dp为连接面2a、2b在排列方向Y上的面宽度W以下,接头4的直径Dd1、Dd2为面宽度W以上,在排列方向Y上相邻的各配管6被定位于接头4在延设方向X上相互错开的位置。
-