公开(公告)号：CN1933943A

公开(公告)日：2007-03-21

申请号：CN200580008375.1

申请日：2005-01-28

Applicant: 株式会社小金井

Inventor： 藤原辉彦

IPC: B25J15/06 ,  H01L21/68 ,  H05K13/02 ,  H05K13/08

CPC classification number: H01L21/6838 ,  B65G47/917 ,  H05K13/0409

Abstract: 可移动通道(14)与用于真空吸附工件(W)的抽吸器(13)相连。负压气体通过真空供给控制阀(15)而从真空供给源(11)供给至可移动通道(14)。真空供给控制阀(15)在以下两个位置之间进行切换：用于将负压气体供给至可移动通道(14)的抽吸位置，以及用于中断负压气体供给的息止位置。可移动通道(14)与用于检测可移动通道(14)中气体流动的流动传感器(29)相连。如果流动传感器(29)的检测值不高于指定的标准值，则确定工件(W)被吸附。

公开(公告)号：CN100519105C

公开(公告)日：2009-07-29

申请号：CN200580008375.1

申请日：2005-01-28

Applicant: 株式会社小金井

Inventor： 藤原辉彦

IPC: B25J15/06 ,  H01L21/68 ,  H05K13/02 ,  H05K13/08

CPC classification number: H01L21/6838 ,  B65G47/917 ,  H05K13/0409

Abstract: 可移动通道(14)与用于真空吸附工件(W)的抽吸器(13)相连。负压气体通过真空供给控制阀(15)而从真空供给源(11)供给至可移动通道(14)。真空供给控制阀(15)在以下两个位置之间进行切换：用于将负压气体供给至可移动通道(14)的抽吸位置，以及用于中断负压气体供给的息止位置。可移动通道(14)与用于检测可移动通道(14)中气体流动的流动传感器(29)相连。如果流动传感器(29)的检测值不高于指定的标准值，则确定工件(W)被吸附。