公开(公告)号：CN106104751B

公开(公告)日：2019-08-16

申请号：CN201580012912.3

申请日：2015-03-10

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 松本英树 ,  佐久智宣

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  G11B5/84

CPC classification number: B29C59/026 ,  B29C31/008 ,  B29C43/021 ,  B29C43/56 ,  B29C59/002 ,  B29C59/022 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G11B5/855 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/6838

Abstract: 本发明提供了一种压印设备，其使用模具在基底上模制压印材料，以在所述基底上形成图案，设备包括：喷嘴，包括排放出口，排放出口将压印材料排放到基底上；保持单元，保持单元构造成保持所述模具；供应单元，供应单元构造成将气体供应到保持单元和基底上的压印材料之间的部分，所述气体使得用压印材料填充模具的图案的过程加速；和气体单元，气体单元设置有所述喷嘴，其中，气体单元相对于第一空间周围的第二空间实施气体供应或者抽排，所述第一空间位于喷嘴和基底的面向喷嘴并且被运送到喷嘴下方的部分之间，以便防止气体流入到第一空间中。

公开(公告)号：CN106415815B

公开(公告)日：2019-06-07

申请号：CN201580025703.2

申请日：2015-03-25

Applicant: 住友电气工业株式会社

Inventor： 久保田良辅 ,  木村炼 ,  田中聪 ,  小桥一仁

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/027 ,  H01L21/265 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/205

CPC classification number: H01L21/02027 ,  H01L21/02005 ,  H01L21/027 ,  H01L21/046 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/324 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/6833 ,  H01L21/6838 ,  H01L23/562 ,  H01L29/045 ,  H01L29/1608 ,  H01L29/66068

Abstract: 一种用于制造半导体器件的方法，包括：制备SiC衬底(10)的步骤；将所述SiC衬底(10)固定到静电吸盘(20)上并且对所述SiC衬底(10)进行热处理的步骤，以及对被固定到所述静电吸盘(20)上并且被热处理的所述SiC衬底(10)执行离子注入处理的步骤。所述热处理的步骤包括：外周侧吸附步骤，其在所述SiC衬底(10)的外周区域(12)和所述静电吸盘(20)的外周部(22)之间产生静电吸引力，所述外周部(22)面对所述外周区域(12)；以及内周侧吸附步骤，其是在所述外周侧吸附步骤开始之后开始的，并且在所述SiC衬底(10)的内周区域(11)和所述静电吸盘(20)的内周部(21)之间产生静电吸引力，所述内周部(21)面对所述内周区域(11)。

公开(公告)号：CN109690754A

公开(公告)日：2019-04-26

申请号：CN201780047504.0

申请日：2017-07-28

Applicant: 亚席斯自动化系统有限公司

Inventor： 弗洛里安·瓦姆斯勒 ,  阿希姆·阿诺德 ,  克劳斯·奥佩尔特

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/677 ,  B65G21/20 ,  B65G17/32 ,  B65H5/22 ,  H01L21/67

CPC classification number: B65G21/2036 ,  B65H5/224 ,  B65H2406/323 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/6838

Abstract: 本发明涉及用于抓取和运输基底、尤其是晶片、太阳能电池、电路板等的装置(1)，该装置具有抓取头(2)，抓取头具有形成用于放置到基底上的支承面(29)的至少一个运输带(16)，其中，运输带(16)在抓取头(2)的下侧上沿着滑动面(15)被引导，并且其中，抓取头(2)具有用于将基底吸附到支承面(29)上的抽吸装置。滑动面(15)构造成朝向下弯曲的。

公开(公告)号：CN109256356A

公开(公告)日：2019-01-22

申请号：CN201811137378.0

申请日：2018-09-28

Applicant: 上海理工大学 ,  上海微松工业自动化有限公司

Inventor： 刘劲松 ,  于大泳 ,  毕秋吉 ,  申敬 ,  邵志翔

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/6838 ,  H01L21/67288

Abstract: 一种晶圆用平整固定装置，用于对放置在封装设备中的翘曲晶圆进行平整固定，包括：承载台；吸附固定部具有可相对于承载台上下移动的预固定单元和装载固定单元以及用于为预固定单元和装载固定单元分别提供真空负压的负压单元；检测部包括负压检测单元和平整度检测单元，吸附固定部具有预固定单元、装载固定单元以及用于为预固定单元和装载固定单元分别提供真空负压的负压单元，预固定单元，可相对于承载台上下移动，装载固定单元具有底盘以及设置在底盘上的多个吸附孔和多个底盘通孔，该底盘通孔位于底盘的中央区域，用于供预固定单元通过，预固定单元对翘曲晶圆进行预固定后，装载固定单元启动负压对预固定后的翘曲晶圆进行吸附固定。

公开(公告)号：CN109244029A

公开(公告)日：2019-01-18

申请号：CN201811137361.5

申请日：2018-09-28

Applicant: 上海理工大学 ,  上海微松工业自动化有限公司

Inventor： 刘劲松 ,  于大泳 ,  张金志 ,  杨帆 ,  申敬

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L21/6838 ,  H01L21/67288 ,  H01L22/30

Abstract: 一种压边固定机构，安装在封装设备中，用于对放置在封装设备中的翘曲晶圆的边缘区域进行平整固定，包括：支架，固定在封装设备上；以及压边单元，安装在支架上，可相对于支架上下移动，用于压平边缘区域，具有压盘和安装在压盘上的多个压边头，其中，压盘具有圆形的中心件和多根条状件，多根条状件呈中心放射状均匀排布，条状件的一端固定在中心件上，压边头安装在条状件的另一端，具有支撑轴和吸盘，支撑轴的一端安装在条状件上，另一端与吸盘连接，吸盘用于与边缘区域接触并将其压平，该吸盘采用导电性丁腈橡胶制成。

公开(公告)号：CN109244013A

公开(公告)日：2019-01-18

申请号：CN201811074582.2

申请日：2018-09-14

Applicant: 浙江金诺新能源科技有限公司

Inventor： 金建江 ,  曾飞亮

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/683 ,  H01L31/18

CPC classification number: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/67703 ,  H01L21/683 ,  H01L21/6838 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明属于电池片技术领域，具体涉及一种光伏电池片自动规整装置，包括上料组件、吸附组件和规整组件，上料组件包括底座轨道、往返运动气缸以及上料平台；吸附组件包括机架、电机、丝杠、安装基板以及吸附机构，吸附机构包括吸附驱动件、滑动座、T形座、连接板以及吸附板，吸附板的下端设置一组吸附嘴，规整组件包括工作台、规整平台、第二气缸、第一规整板、第三气缸以及第二规整板。本发明中的两个吸附机构同时工作，在完成一个电池片的上料、规整的同时，能够将前一个电池片送至下一个工位，提高工作效率，减少时间成本，对企业的经济效益大有益处。

公开(公告)号：CN109202308A

公开(公告)日：2019-01-15

申请号：CN201810660262.9

申请日：2018-06-25

Applicant: 株式会社迪思科

Inventor： 山本节男

IPC: B23K26/40 ,  B23K26/08 ,  B23K26/064 ,  B23K26/03

CPC classification number: B23K26/032 ,  B23K26/0006 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/0823 ,  B23K26/0853 ,  B23K26/0869 ,  B23K26/53 ,  B23K37/0408 ,  B23K2101/40 ,  B23K2103/56 ,  B25B11/005 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/6838 ,  B23K26/40 ,  B23K26/064 ,  B23K26/0861

Abstract: 提供激光加工装置和激光加工方法，能够抑制因激光束而使卡盘工作台破损。激光加工装置(1)包含：卡盘工作台(10)，其利用保持面(11)对单晶SiC锭(600)进行保持；激光束照射单元，其对卡盘工作台(10)所保持的单晶SiC锭(600)照射激光束；以及相机单元(30)，其对卡盘工作台(10)所保持的单晶SiC锭(600)进行拍摄。卡盘工作台(10)包含：多孔质玻璃板(12)，其构成保持面(11)；以及玻璃框部(13)，其由非多孔质玻璃形成，具有凹部(14)和负压传递路(15)，该凹部(14)供多孔质玻璃板(12)嵌合，该负压传递路(15)将负压传递至所嵌合的多孔质玻璃板(12)。

公开(公告)号：CN108885390A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201780022829.3

申请日：2017-03-30

Applicant: 激光影像系统有限责任公司

Inventor： 乌尔班·肖尔茨-格拉赫 ,  乌韦·克洛斯基 ,  京特·弗莱明

IPC: G03B27/60 ,  H01L21/683 ,  B23K37/04 ,  B25B11/00 ,  G03F7/20 ,  B41F15/20

CPC classification number: H01L21/6838 ,  B25B11/005 ,  B41F15/20 ,  G03F7/707 ,  H01L21/6875 ,  H01L21/68785

Abstract: 本发明涉及借助于真空固定物体的设备。本发明的目的是使得能够以精细的增量改变真空台的有效表面积，从而能够可靠地捕获底部区域大小不同的物体。通过借助于真空固定物体的设备实现该目的，在于除了第一真空室(11)之外，在台(1)上布置有第二真空室(12)和第三真空室(13)，第三真空室(13)将第一真空室(11)和第二真空室(12)延伸到在x方向上的整个延伸长度，其中第二真空室(12)包括由在x方向上延伸的多个平行的行形成沟槽(15)组成的结构，行形成沟槽(15)通过第一连接通道(22)在y方向上彼此连接，且能够借助于行切换设备(2)相对于第一真空室(11)顺次地释放或关闭，第三真空室(13)包括由在y方向上延伸的多个平行的列形成沟槽(16)组成的结构，列形成沟槽(16)经由第二连接通道(42)在x方向上彼此连接，且能够借助于列切换设备(4)相对于第一真空室(11)顺次释放或关闭，且能够借助于行切换设备(2)以同时分段的方式并根据与第二真空室(12)相对应的行形成沟槽(15)的数目和位置在y方向上顺次释放或关闭第三真空室(13)。

公开(公告)号：CN108807207A

公开(公告)日：2018-11-13

申请号：CN201810337204.2

申请日：2018-04-16

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李茂列 ,  姜孝范 ,  李俊成 ,  丁载樑 ,  许荣珉

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01L21/67288 ,  H01L21/6838 ,  H01L22/12

Abstract: 一种颗粒检测装置，包括：卡盘台，晶片被配置为落座在卡盘台上；穿过卡盘台的成形为闭合同心曲线的第一吸附孔和第二吸附孔；第一吸附模块，其在卡盘台下方连接到第一吸附孔并被配置为提供真空压力；第二吸附模块，其在卡盘台下方连接到第二吸附孔并被配置为提供真空压力；压力计，其被配置为测量第一吸附孔和第二吸附孔的真空压力；以及检测模块，其被配置为从压力计接收第一吸附孔和第二吸附孔的真空压力，并基于接收到的真空压力检测晶片是否被固定以及是否存在颗粒。第一吸附模块和第二吸附模块顺序地将真空压力提供到第一吸附孔和第二吸附孔。

公开(公告)号：CN108766926A

公开(公告)日：2018-11-06

申请号：CN201810520713.9

申请日：2018-05-28

Applicant: 深圳中科飞测科技有限公司

Inventor： 张朝前 ,  马砚忠 ,  李少雷 ,  陈鲁

IPC: H01L21/683

CPC classification number: H01L21/6831 ,  H01L21/6838

Abstract: 本发明提供一种晶圆吸盘及其工作方法，其中，所述晶圆吸盘包括：盘体，所述盘体包括吸附面，所述吸附面用于吸附晶圆，所述晶圆侧壁中具有凹口；连接所述盘体的第一定位件，所述第一定位件用于定位晶圆凹口的位置。所述晶圆吸盘能够确定晶圆中的半导体结构与吸附面之间的相对位置关系，从而有利于对晶圆的加工和检测。