公开(公告)号：CN101526759B

公开(公告)日：2013-07-24

申请号：CN200910129712.2

申请日：2004-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 西永寿 ,  引间郁雄 ,  丰田光纪 ,  中川正弘 ,  萩原恒幸 ,  水野恭志 ,  北尚宪 ,  谷津修 ,  江村望

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种曝光装置，通过将曝光光经由液体照射在基板上而将所述基板曝光，其中，具备：投影光学系统；以及计测装置，具有设置在所述投影光学系统的像面侧的光透过部，以及经由该光透过部而接收通过了所述投影光学系统的曝光光的光接收器，所述计测装置的光接收器，在所述投影光学系统和所述光透过部之间没有液体的状态下，接收通过了所述光透过部以及投影光学系统的曝光光。

公开(公告)号：CN1868032A

公开(公告)日：2006-11-22

申请号：CN200480029973.2

申请日：2004-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 西永寿 ,  引间郁雄 ,  丰田光纪 ,  中川正弘 ,  萩原恒幸 ,  水野恭志 ,  北尚宪 ,  谷津修 ,  江村望

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20

Abstract: 从投影光学系统PL入射到液体LQ上的曝光光之中，入射到光透过部44上的曝光光，不通过气体中地入射到光学部件41上而被集中。曝光装置，即便投影光学系统的数值孔径增大，也可以接收来自投影光学系统的曝光光，从而进行各种计测。

公开(公告)号：CN101526759A

公开(公告)日：2009-09-09

申请号：CN200910129712.2

申请日：2004-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 西永寿 ,  引间郁雄 ,  丰田光纪 ,  中川正弘 ,  萩原恒幸 ,  水野恭志 ,  北尚宪 ,  谷津修 ,  江村望

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种曝光装置，通过将曝光光经由液体照射在基板上而将所述基板曝光，其中，具备：投影光学系统；以及计测装置，具有设置在所述投影光学系统的像面侧的光透过部，以及经由该光透过部而接收通过了所述投影光学系统的曝光光的光接收器，所述计测装置的光接收器，在所述投影光学系统和所述光透过部之间没有液体的状态下，接收通过了所述光透过部以及投影光学系统的曝光光。

公开(公告)号：CN100490064C

公开(公告)日：2009-05-20

申请号：CN200480029973.2

申请日：2004-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 西永寿 ,  引间郁雄 ,  丰田光纪 ,  中川正弘 ,  萩原恒幸 ,  水野恭志 ,  北尚宪 ,  谷津修 ,  江村望

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20

Abstract: 从投影光学系统PL入射到液体LQ上的曝光光之中，入射到光透过部44上的曝光光，不通过气体中地入射到光学部件41上而被集中。曝光装置，即便投影光学系统的数值孔径增大，也可以接收来自投影光学系统的曝光光，从而进行各种计测。