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发明授权
基板支承装置、曝光装置、及图案化装置有权

公开(公告)号：CN109154784B

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：CN201780030933.7

申请日：2017-04-17

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 加藤正纪 , 鬼头义昭 , 堀正和 , 木内徹 , 仓重贵广

IPC: G03F7/24 , G03F7/20 , H01L21/68

Abstract: 本发明是将具有可挠性的长条片状基板(P)的一部分沿圆筒状的外周面的圆周方向卷绕而加以支承的转筒(DR)，包括：圆筒体(50)，其具有距中心轴(AXo)为固定半径的圆筒状外周面；光电感测器(PDi)，其输出与朝向圆筒体(50)的外周面投射并射入至形成于圆筒体(50)的外周面的一部分的开口部(50n)的光束(LBn)的强度对应的信号；及感测器电路基板(60)，其输入来自光电感测器(PDi)的信号，以进行用以测量光束(LBn)的强度变化或光束位置的信号处理。

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