公开(公告)号：CN102576689B

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：CN201080041623.3

申请日：2010-07-21

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 菅谷功 ,  长南纯一 ,  前田荣裕 ,  田中庆一 ,  保多智之

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67092

Abstract: 提供一种能在用一对基板支架层叠半导体基板时，抑制尘埃流入载置半导体基板的区域的基板处理系统。该基板处理系统具有使保持第1基板的第1基板支架和保持第2基板的第2基板支架相向来夹持第1基板和第2基板的基板支架系统、和保持基板支架系统的处理装置，在基板支架系统及处理装置的至少一方具有抑制尘埃向夹持第1基板和第2基板的区域流入的尘埃流入抑制机构。基板支架系统可以在任一基板支架上设置抑制尘埃向保持基板的区域流入的尘埃流入抑制机构。

公开(公告)号：CN102576689A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201080041623.3

申请日：2010-07-21

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 菅谷功 ,  长南纯一 ,  前田荣裕 ,  田中庆一 ,  保多智之

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67092

Abstract: 提供一种能在用一对基板支架层叠半导体基板时，抑制尘埃流入载置半导体基板的区域的基板处理系统。该基板处理系统具有使保持第1基板的第1基板支架和保持第2基板的第2基板支架相向来夹持第1基板和第2基板的基板支架系统、和保持基板支架系统的处理装置，在基板支架系统及处理装置的至少一方具有抑制尘埃向夹持第1基板和第2基板的区域流入的尘埃流入抑制机构。基板支架系统可以在任一基板支架上设置抑制尘埃向保持基板的区域流入的尘埃流入抑制机构。