公开(公告)号：CN116689948A

公开(公告)日：2023-09-05

申请号：CN202310681665.2

申请日：2017-10-25

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白石雅之 ,  江上茂树 ,  川辺喜雄 ,  立崎阳介 ,  小笠原麦

IPC: B23K26/03 ,  B23K26/04 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/06 ,  B23K26/067 ,  B23K26/082 ,  B23K26/12 ,  B23K26/14 ,  B23K26/16 ,  B23K26/362

Abstract: 本发明提供一种加工装置及加工方法。加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射加工光(EL)；及计测装置(71i、71j)，计测通过光照射装置而形成于物体的表面的照射区域(EA)的相对于物体的位置。

公开(公告)号：CN111263678A

公开(公告)日：2020-06-09

申请号：CN201780096204.1

申请日：2017-10-25

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白石雅之 ,  江上茂树 ,  川辺喜雄 ,  立崎阳介 ,  小笠原麦

IPC: B23K26/04

Abstract: 加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射加工光(EL)；及计测装置(71i、71j)，计测通过光照射装置而形成于物体的表面的照射区域(EA)的相对于物体的位置。