公开(公告)号：CN117730406A

公开(公告)日：2024-03-19

申请号：CN202280050815.3

申请日：2022-07-27

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 小泉翔平 ,  鬼头义昭 ,  川端诚司 ,  木内徹

IPC: H01L21/768 ,  H05K3/24 ,  H05K3/18 ,  H01L29/786 ,  H01L29/49 ,  H01L29/423 ,  H01L29/417 ,  H01L23/532 ,  H01L21/336 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/288 ,  C23C18/32

Abstract: 一种金属布线的制造方法，其为在基板上制造金属布线的方法，其具备：在上述基板上的至少一部分形成包含第一材料的第一层的工序；在上述第一层形成裂纹，形成具有裂纹的第一层的工序；以及在具有上述裂纹的第一层形成包含第二材料的第二层的工序。