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公开(公告)号：CN101201552A
公开(公告)日：2008-06-18
申请号：CN200710195642.1
申请日：2003-12-02
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 本发明是有关于一种光学照明装置、曝光装置以及曝光方法。该光学照明装置，例如搭载于曝光装置中，便可以依据光罩图案的特性，抑制光量损且使照明光的偏振状态改变，得以实施适当的照明条件。具有提供直线偏振光的光源部(1)，以光源部发出的光来照明被照射面(M、W)。光学照明装置具有偏振状态切换手段(10、20)，配置在光源部与被照射面之间的光路中，用以使照明被照射面的光的偏振状态在特定偏振状态与非偏振状态之间做切换。偏振状态切换手段更具有去偏振器(20)，其架构成可以自在地插入与脱离于照明光路中，并且可依据所需将入射的直线偏振光去偏振。
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公开(公告)号：CN101689006B
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN200880012102.8
申请日：2008-04-17
Applicant: 株式会社尼康 , 独立行政法人物质·材料研究机构
IPC: G02F1/37
CPC classification number: G02F1/3775 , G02F1/3558
Abstract: 一种包括单晶体的非线性光学晶体的波长转换元件。该非线性光学晶体包括：在规定方向上具有极性方向的多个第1区域、在规定方向的相反方向上具有极性方向的多个第2区域、波长为λ且频率为ω的基本入射波沿着与规定方向实质性垂直的方向而入射的入射面、以及在晶体内产生的频率为2ω的二次谐波出射的出射面。多个第1区域及多个第2区域是形成为以与规定的式子所表示的d实质性相等的周期而交替地配置在入射面与出射面之间。
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公开(公告)号：CN101201553B
公开(公告)日：2010-10-27
申请号：CN200710195644.0
申请日：2003-12-02
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 本发明是有关于一种光学照明装置、曝光装置以及曝光方法。该光学照明装置，例如搭载于曝光装置中，便可以依据光罩图案的特性，抑制光量损且使照明光的偏振状态改变，得以实施适当的照明条件。具有提供直线偏振光的光源部(1)，以光源部发出的光来照明被照射面(M、W)。光学照明装置具有偏振状态切换手段(10、20)，配置在光源部与被照射面之间的光路中，用以使照明被照射面的光的偏振状态在特定偏振状态与非偏振状态之间做切换。偏振状态切换手段更具有去偏振器(20)，其架构成可以自在地插入与脱离于照明光路中，并且可依据所需将入射的直线偏振光去偏振。
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公开(公告)号：CN1856861A
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：CN200480027316.4
申请日：2004-06-29
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/027 , G02B27/28 , G02B19/00
Abstract: 一种可以防止通过由例如萤石的立方系晶体材料形成的透光部件的线性偏振光的偏振状态的改变的照射光学系统。一种照射光学系统，包括，光源单元(1)，用于用来自光源单元的光提供线性偏振光来照射将要照射的表面(M、W)。该系统包括被设置在光源单元和将要照射的表面之间的光路上的偏振状态切换装置(10，20)，用于在线性偏振状态和非线性偏振状态之间切换用于照射将要照射的表面的光的偏振状态。偏振状态切换装置具有相位部件(10)，用于按需要改变入射线性偏振光的偏振面，以及消偏振镜(20)，用于按需要对入射线性偏振光消偏振。将与由萤石形成的透光部件的双折射变化有关的相位超前轴方向设置成与入射到透光部件上的线性偏振光的场振动方向基本一致或正交。
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公开(公告)号：CN101201553A
公开(公告)日：2008-06-18
申请号：CN200710195644.0
申请日：2003-12-02
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 本发明是有关于一种光学照明装置、曝光装置以及曝光方法。该光学照明装置，例如搭载于曝光装置中，便可以依据光罩图案的特性，抑制光量损且使照明光的偏振状态改变，得以实施适当的照明条件。具有提供直线偏振光的光源部(1)，以光源部发出的光来照明被照射面(M、W)。光学照明装置具有偏振状态切换手段(10、20)，配置在光源部与被照射面之间的光路中，用以使照明被照射面的光的偏振状态在特定偏振状态与非偏振状态之间做切换。偏振状态切换手段更具有去偏振器(20)，其架构成可以自在地插入与脱离于照明光路中，并且可依据所需将入射的直线偏振光去偏振。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1717777A
公开(公告)日：2006-01-04
申请号：CN200380104450.5
申请日：2003-12-02
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/027 , G03F7/20
Abstract: 本发明是有关于一种光学照明装置、曝光装置以及曝光方法。该光学照明装置，例如搭载于曝光装置中，便可以依据光罩图案的特性，抑制光量损且使照明光的偏振状态改变，得以实施适当的照明条件。具有提供直线偏振光的光源部(1)，以光源部发出的光来照明被照射面(M、W)。光学照明装置具有偏振状态切换手段(10、20)，配置在光源部与被照射面之间的光路中，用以使照明被照射面的光的偏振状态在特定偏振状态与非偏振状态之间做切换。偏振状态切换手段更具有去偏振器(20)，其架构成可以自在地插入与脱离于照明光路中，并且可依据所需将入射的直线偏振光去偏振。
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公开(公告)号：CN102822735A
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201180015639.1
申请日：2011-03-18
Applicant: 株式会社尼康 , 独立行政法人物质·材料研究机构
CPC classification number: G02F1/3558 , G02F2001/3505 , G02F2201/46 , Y10T29/49826
Abstract: 本发明涉及可持续施加所需压力的光学元件以及光学元件等。该光学元件1具备顺电体结晶（S）、中间夹着顺电体结晶的第1以及第2按压构件（10、20）、紧固构件（30A～30D）。顺电体结晶（S）具有极性沿极性周期方向周期性地反转的周期结构。紧固构件（30A～30D）按照通过第1以及第2按压构件（10、20），沿着与极性周期方向交叉的方向向顺电体结晶（S）施加规定的压力的方式相互固定第1以及第2按压构件（10、20）。
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公开(公告)号：CN101201552B
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200710195642.1
申请日：2003-12-02
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 本发明是有关于一种光学照明装置、曝光装置以及曝光方法。该光学照明装置，例如搭载于曝光装置中，便可以依据光罩图案的特性，抑制光量损且使照明光的偏振状态改变，得以实施适当的照明条件。具有提供直线偏振光的光源部(1)，以光源部发出的光来照明被照射面(M、W)。光学照明装置具有偏振状态切换单元(10、20)，配置在光源部与被照射面之间的光路中，用以使照明被照射面的光的偏振状态在特定偏振状态与非偏振状态之间做切换。偏振状态切换单元更具有去偏振器(20)，其架构成可以自在地插入与脱离于照明光路中，并且可依据所需将入射的直线偏振光去偏振。
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公开(公告)号：CN101689006A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：CN200880012102.8
申请日：2008-04-17
Applicant: 株式会社尼康 , 独立行政法人物质·材料研究机构
IPC: G02F1/37
CPC classification number: G02F1/3775 , G02F1/3558
Abstract: 一种包括单晶体的非线性光学晶体的波长转换元件。该非线性光学晶体包括：在规定方向上具有极性方向的多个第1区域、在规定方向的相反方向上具有极性方向的多个第2区域、波长为λ且频率为ω的基本入射波沿着与规定方向实质性垂直的方向而入射的入射面、以及在晶体内产生的频率为2ω的二次谐波出射的出射面。多个第1区域及多个第2区域是形成为以与规定的式子所表示的d实质性相等的周期而交替地配置在入射面与出射面之间。
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