包括液态化学物质用的容器与化学物质供给源的系统以及包括液态化学物质用的容器与化学物质消耗装置的系统

    公开(公告)号:CN107108117B

    公开(公告)日:2019-03-01

    申请号:CN201680004463.2

    申请日:2016-02-18

    Abstract: 本发明提供一种能够较佳地用作高纯度三氯氢硅那样的高纯度的液态化学物质用的容器的、尽可能防止液态化学物质的污染的液态化学物质用的容器。容器具备容器主体和附设于该容器主体的连接单元。连接单元包含化学物质流路及气体流路。在化学物质流路的伸出部配设有位于靠下游侧的位置的第一开闭阀部件和位于靠上游侧的位置的第二开闭阀部件。在气体流路上配设有位于靠下游侧的位置的第三开闭阀部件和位于靠上游侧的位置的第四开闭阀部件。连接单元还包含连结流路,该连结流路连结化学物质流路中的第一开闭阀部件与第二开闭阀部件之间的部位和气体流路中的第三开闭阀部件与第四开闭阀部件之间的部位。在连结流路上配设有第五开闭阀部件。

    液态化学物质用容器
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107108117A

    公开(公告)日:2017-08-29

    申请号:CN201680004463.2

    申请日:2016-02-18

    CPC classification number: B65D90/00 F17C13/04

    Abstract: 本发明提供一种能够作为如高纯度三氯氢硅那样的高纯度的液态化学物质用的容器较佳地使用的、尽可能防止液态化学物质的污染的液态化学物质用的容器(2)。容器(2)具备容器主体(4)和附设于该容器主体(4)的连接单元(6)。连接单元(6)包含:化学物质流路(8),其具有浸渍于容器主体(4)内的化学物质的浸渍部(8a)和自容器主体(4)伸出的伸出部(8b);以及气体流路(10),其自该气体流路(10)的与容器主体(4)内连通的一端伸出。在化学物质流路(8)的伸出部(8b)配设有第一开闭阀部件(14)和第二开闭阀部件(16),该第一开闭阀部件(14)在朝向容器主体(4)内填充化学物质的化学物质填充方向看时位于靠下游侧的位置,该第二开闭阀部件(16)在朝化学物质填充方向看时位于靠上游侧的位置。在气体流路(10)上配设有第三开闭阀部件(20)和第四开闭阀部件(22),该第三开闭阀部件(20)在朝气流向容器主体(4)流入的气体流入方向看时位于靠下游侧的位置,该第四开闭阀部件(22)在朝气体流入方向看时位于靠上游侧的位置。连接单元(6)还包含连结流路(12),该连结流路(12)连结化学物质流路(8)中的第一开闭阀部件(14)与第二开闭阀部件(16)之间的部位和气体流路(10)中的第三开闭阀部件(20)与第四开闭阀部件(22)之间的部位。在连结流路(12)上配设有第五开闭阀部件(24)。

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