公开(公告)号：CN105470166A

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201510628190.6

申请日：2015-09-28

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 桥本光治 ,  波多野章人 ,  林豊秀 ,  土谷庆一

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

CPC classification number: G01B11/26 ,  B25J11/0095 ,  G01B11/0608 ,  G01V8/20 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67778 ,  H01L21/67265 ,  H01L21/67766

Abstract: 本发明提供一种能够防止基板破损的基板处理装置以及基板处理方法。在利用传感器进退移动部使测绘传感器进入运送器内的状态下，通过传感器升降部使测绘传感器沿上下方向移动。与该动作一起，通过测绘传感器朝向与基板进出运送器的前后方向相交的水平方向检测基板的有无，通过高度传感器检测测绘传感器的高度。由此，在前后方向上的彼此不同的两个以上位置检测基板高度。基板状态取得部基于该基板高度，取得各基板在前后方向上相对于水平面的倾斜度。由于事先取得运送器内的各基板的倾斜度，所以能够防止因基板搬运机构的手部与基板接触而产生的基板破损。

公开(公告)号：CN105470166B

公开(公告)日：2018-05-08

申请号：CN201510628190.6

申请日：2015-09-28

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 桥本光治 ,  波多野章人 ,  林豊秀 ,  土谷庆一

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

CPC classification number: G01B11/26 ,  B25J11/0095 ,  G01B11/0608 ,  G01V8/20 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67778

Abstract: 本发明提供一种能够防止基板破损的基板处理装置以及基板处理方法。在利用传感器进退移动部使测绘传感器进入运送器内的状态下，通过传感器升降部使测绘传感器沿上下方向移动。与该动作一起，通过测绘传感器朝向与基板进出运送器的前后方向相交的水平方向检测基板的有无，通过高度传感器检测测绘传感器的高度。由此，在前后方向上的彼此不同的两个以上位置检测基板高度。基板状态取得部基于该基板高度，取得各基板在前后方向上相对于水平面的倾斜度。由于事先取得运送器内的各基板的倾斜度，所以能够防止因基板搬运机构的手部与基板接触而产生的基板破损。