公开(公告)号：CN1945208A

公开(公告)日：2007-04-11

申请号：CN200610152410.3

申请日：2006-09-29

Applicant: 株式会社拓普康

Inventor： 熊谷薫 ,  山口伸二

IPC: G01C15/00

CPC classification number: G01C9/06 ,  G01C9/18 ,  G01C9/20 ,  G01C2009/066

Abstract: 本发明提供一种位置检测装置，可以实现投影光学系统的光学结构小型化。本发明的位置检测装置包括：液体(7)，形成有自由表面(7a)；光源(2)，朝向自由表面(7a)照射光束；暗视场图案(4)，存在于光源(2)与液体(7)之间，在光束中形成图案；受光传感器(9)，检测由自由表面(7a)所反射的光束的图案；以及运算单元(11)，由受光传感器(9)的检测结果而计算图案的位置，并且，运算单元(11)在X方向与Y方向上将受光传感器(9)的检测结果相加，且根据在X方向与上述Y方向上相加的图案的排列来计算图案的位置。

公开(公告)号：CN1945208B

公开(公告)日：2011-10-26

申请号：CN200610152410.3

申请日：2006-09-29

Applicant: 株式会社拓普康

Inventor： 熊谷薫 ,  山口伸二

IPC: G01C15/00

CPC classification number: G01C9/06 ,  G01C9/18 ,  G01C9/20 ,  G01C2009/066

Abstract: 本发明提供一种位置检测装置，可以实现投影光学系统的光学结构小型化。本发明的位置检测装置包括：液体(7)，形成有自由表面(7a)；光源(2)，朝向自由表面(7a)照射光束；暗视场图案(4)，存在于光源(2)与液体(7)之间，在光束中形成图案；受光传感器(9)，检测由自由表面(7a)所反射的光束的图案；以及运算单元(11)，由受光传感器(9)的检测结果而计算图案的位置，并且，运算单元(11)在X方向与Y方向上将受光传感器(9)的检测结果相加，且根据在X方向与上述Y方向上相加的图案的排列来计算图案的位置。