公开(公告)号：CN113871320A

公开(公告)日：2021-12-31

申请号：CN202110723910.2

申请日：2021-06-29

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 平下友美

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置，能高精度地控制回收的臭氧水的臭氧浓度。基板处理装置具备：臭氧水生成部，使用臭氧气体生成臭氧水；第一浓度计，测量生成的臭氧水的臭氧浓度；基板处理部；回收部，回收臭氧水并向臭氧水生成部供给；以及控制部，控制臭氧水生成部的动作，回收部具备：温度控制部，控制臭氧水的温度；以及第二浓度计，测量臭氧浓度，控制部基于由第二浓度计测量出的臭氧浓度，控制臭氧水生成部中的臭氧气体的供给量。

公开(公告)号：CN109791884A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201780057738.3

申请日：2017-06-08

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 铃木达大 ,  德利宪太郎 ,  西村高志 ,  结城嘉晓 ,  玉置康人 ,  宫路信行 ,  平下友美 ,  内田博章 ,  奥谷洋介

IPC: H01L21/304

CPC classification number: H01L21/304

Abstract: 本发明的目的在于提供抑制衬底的污染的技术。衬底处理装置具备：衬底保持部，其水平地保持衬底；处理液供给部，其向被保持于衬底保持部的衬底供给处理液；和受液部，其围绕衬底保持部的周围，并接收从衬底飞散的处理液。另外，受液部的内周面具有在被保持于衬底保持部的衬底侧露出的多个槽，多个槽各自的延伸方向包含铅垂方向的分量。因此，处理液的液滴易于在槽内合流并因自重而落下。

公开(公告)号：CN109791884B

公开(公告)日：2023-05-30

申请号：CN201780057738.3

申请日：2017-06-08

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 铃木达大 ,  德利宪太郎 ,  西村高志 ,  结城嘉晓 ,  玉置康人 ,  宫路信行 ,  平下友美 ,  内田博章 ,  奥谷洋介

IPC: H01L21/304