附着物收集装置以及检查系统

    公开(公告)号:CN109196329B

    公开(公告)日:2021-08-17

    申请号:CN201780032937.9

    申请日:2017-05-29

    Abstract: 为了稳定地从检查对象物剥离物质,其特征在于,具有喷出气体的喷出口(n)、具有喷出口(n)的箱体(B)、以及设置于箱体(B)的具备喷出口(n)的面且具有预定高度的支撑部(H)。并且,其特征在于,支撑部(H)是形成于箱体(B)的凸形状部。另外,其特征在于,支撑部(H)具有长方体形状,并且设置为随着朝向回收因气体而从检查对象物(C)剥离出的物质的回收口的方向,彼此距离变短。

    附着物收集装置以及检查系统

    公开(公告)号:CN109196329A

    公开(公告)日:2019-01-11

    申请号:CN201780032937.9

    申请日:2017-05-29

    Abstract: 为了稳定地从检查对象物剥离物质,其特征在于,具有喷出气体的喷出口(n)、具有喷出口(n)的箱体(B)、以及设置于箱体(B)的具备喷出口(n)的面且具有预定高度的支撑部(H)。并且,其特征在于,支撑部(H)是形成于箱体(B)的凸形状部。另外,其特征在于,支撑部(H)具有长方体形状,并且设置为随着朝向回收因气体而从检查对象物(C)剥离出的物质的回收口的方向,彼此距离变短。

    离子阱、质量分析计、离子迁移率分析计

    公开(公告)号:CN101335177A

    公开(公告)日:2008-12-31

    申请号:CN200810109182.0

    申请日:2008-05-23

    CPC classification number: H01J49/4225 G01N27/622

    Abstract: 本发明提供一种离子阱、质量分析计、离子迁移率分析计,其课题在于提供一种小型、廉价、简便的质量分析单元,其能够应用可以实现无需在以往的质量分析方法中必须的高真空的低真空中的动作、小型且电极个数少并且形状易于加工、进而无需电子倍增管等放大的检测离子电流的离子检测方法。在该真空区域中以往使用离子迁移率分析单元,但通过本方式可以提供新的质量分析手段,可以针对各种应用显著地提高分析精度。使用在本发明中公开的一维离子阱。基于一维离子阱的质量分析单元可以囚禁大量的离子,可以提供能够在低真空中动作的质量分析方式,所以可以实现不使用高真空的质量分析单元。

    气体监控装置
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1865975B

    公开(公告)日:2011-07-20

    申请号:CN200610001574.6

    申请日:2006-01-24

    CPC classification number: H01J49/04 Y10T436/16

    Abstract: 本发明提供即使是试样气体中的共存物质的浓度发生变化,也能够准确地定量化学试剂的浓度的气体监控装置。这种气体监控装置(1)的特征在于,具有导入含有测定对象物质的试样气体的试样导入部(3)、测定包含在试样气体中且与测定对象物质共存的规定共存物质的浓度的共存物质浓度测定单元(4)、使所述试样气体电离的电离部、分析从所述电离部生成的离子的质量的质量分析仪、解析由质量分析仪检测出的信号并计算出测定对象物质的浓度的数据处理部(7)、显示由数据处理部(7)解析的解析结果的显示部(8);并且,数据处理部(7)具有对应于规定共存物质的浓度而修正测定对象物质的浓度的修正单元。

    气体监控装置
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1865975A

    公开(公告)日:2006-11-22

    申请号:CN200610001574.6

    申请日:2006-01-24

    CPC classification number: H01J49/04 Y10T436/16

    Abstract: 本发明提供即使是试样气体中的共存物质的浓度发生变化,也能够准确地定量化学试剂的浓度的气体监控装置。这种气体监控装置(1)的特征在于,具有导入含有测定对象物质的试样气体的试样导入部(3)、测定包含在试样气体中且与测定对象物质共存的规定共存物质的浓度的共存物质浓度测定单元(4)、使所述试样气体电离的电离部、分析从所述电离部生成的离子的质量的质量分析仪、解析由质量分析仪检测出的信号并计算出测定对象物质的浓度的数据处理部(7)、显示由数据处理部(7)解析的解析结果的显示部(8);并且,数据处理部(7)具有对应于规定共存物质的浓度而修正测定对象物质的浓度的修正单元。

Patent Agency Ranking