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公开(公告)号:CN102044262A
公开(公告)日:2011-05-04
申请号:CN201010505875.9
申请日:2010-09-29
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: G11B5/55
CPC classification number: G11B5/4833 , G11B5/4873
Abstract: 本发明提供一种不容易产生粉尘、并且能以较高的安装强度进行安装的磁头驱动用压电陶瓷致动器。第一电极(22)包括:形成于第一主面(21a)的一部分上的第一外部电极部(22b);以及形成于第一端面(21e)上的第二外部电极部(22c)。第二电极(23)包括:形成于第二端面(21f)上的第三外部电极部(23c);以及形成于第一主面(21a)上的第四外部电极部(23d)。第一外部电极部(22b)和第二外部电极部(22c)各自的至少一部分、以及第三外部电极部(23c)和第四外部电极部(23d)各自的至少一部分分别构成通过导电剂(11)安装在基板(10)上的接合部(22A、23A)。涂敷膜(30)覆盖致动器主体(20)除接合部(22A、23A)以外的部分的至少一部分表面。
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公开(公告)号:CN106664075B
公开(公告)日:2019-06-18
申请号:CN201580041358.1
申请日:2015-10-20
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/172 , H03H9/02259 , H03H9/0504 , H03H9/2405 , H03H2009/241
Abstract: 本发明提供一种抑制由振动部的不必要振动引起的保持体的振动,并且能够实现小型化的谐振器以及谐振装置。上述谐振器具备:振动部,其具有半导体层、形成在半导体层上的第一压电膜、以及形成于第一压电膜的上部的第一上部电极;保持体,其将振动部保持为能够振动;连结部,其连结振动部和保持体;以及振动抑制部,其具有形成在保持体上的第二压电膜和形成于第二压电膜的上部的第二上部电极。
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公开(公告)号:CN106664075A
公开(公告)日:2017-05-10
申请号:CN201580041358.1
申请日:2015-10-20
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/172 , H03H9/02259 , H03H9/0504 , H03H9/2405 , H03H2009/241
Abstract: 本发明提供一种抑制由振动部的不必要振动引起的保持体的振动,并且能够实现小型化的谐振器以及谐振装置。上述谐振器具备:振动部,其具有半导体层、形成在半导体层上的第一压电膜、以及形成于第一压电膜的上部的第一上部电极;保持体,其将振动部保持为能够振动;连结部,其连结振动部和保持体;以及振动抑制部,其具有形成在保持体上的第二压电膜和形成于第二压电膜的上部的第二上部电极。
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公开(公告)号:CN1258826C
公开(公告)日:2006-06-07
申请号:CN02125174.6
申请日:2002-06-28
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor: 中谷宏
IPC: H01L41/083
CPC classification number: B41J2/1646 , B41J2/14274 , B41J2/1612 , B41J2/1623 , B41J2/1632 , H01L41/0472 , H01L41/0831 , H01L41/293 , H01L41/313 , H05K3/3442
Abstract: 一种积层压电器件,包括分层压电体,这种压电体具有驱动侧外电极和连接侧外电极,它们布置在该分层压电体一个侧面处,其中提供由狭缝分隔所述分层压电体形成的多个致动器单元,所述狭缝从分层压电体的上表面延伸至其下表面。在分层压电体的一个侧面内形成切口部分,所述分层压电体内放置驱动侧外电极和连接侧外电极,使切口部分基本上与多个驱动内电极和连接内电极平行。所述切口部分的宽度使该切口部分能够从所述分层压电体的下表面到达狭缝底端上方的位置,但不能使它达到各驱动内电极。
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公开(公告)号:CN102859597A
公开(公告)日:2013-01-02
申请号:CN201180020419.8
申请日:2011-04-28
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: G11B21/21 , G11B21/10 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/187 , H01L41/193
CPC classification number: H01L41/0472 , G11B5/4813 , G11B5/483 , G11B5/4873 , G11B5/5552 , H01L41/047 , H01L41/0477 , H01L41/0986
Abstract: 提供容易判别方向、且能容易地测定电特性的压电致动器。压电致动器(20)具备压电基板(21)、第1以及第2电极(22、23)、和导电膜(24)。第1以及第2电极(22、23)对压电基板(21)施加电压。导电膜(24)形成于第1电极(22)上。导电膜(24)由与第2电极(23)的色调不同的金属或合金构成。
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公开(公告)号:CN101931339A
公开(公告)日:2010-12-29
申请号:CN201010206764.8
申请日:2010-06-13
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H02N2/00 , H01L41/083 , H01L41/09
Abstract: 本发明提供一种小型且具有大变位量的压电致动器。致动器主体(10)具有:柱状的压电体(20);平衡锤(40),其与压电体(20)的第一端面(20a)接合,密度高于压电体(20)且具有导电性。第一导电层(31)在第一侧面(20c、40c)上形成。第二导电层(32)在第二侧面(20d、40d)上形成。通过相对于第一端面(20a)平行地形成有从第一导电层(31)的表面直到致动器主体(10)内部的第一槽(35),将第一导电层(31)分割为:与第一内部电极(21)连接但不和平衡锤(40)连接的部分(31a);与平衡锤(40)连接但不和第一内部电极(21)连接的部分(31b)。
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公开(公告)号:CN114175502A
公开(公告)日:2022-03-11
申请号:CN202080049613.8
申请日:2020-03-12
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种压电振子以及具备该压电振子的振荡器。压电振子(100)具备基座部件(30)、盖部件(40)、以及设置在基座部件(30)与盖部件(40)之间的层叠结构体(101),层叠结构体(101)具备压电振动元件(10)、半导体层(21)以及一对测定电极(24c、24d),压电振动元件(10)具备:具有对置的一对主面的压电体层(11)和分别设置于压电体层(11)的一对主面以便隔着压电体层(11)相互对置的一对激励电极(14a、14b),半导体层(21)层叠于压电振动元件(10)的压电体层(11)的任意一个主面侧,一对测定电极(24c、24d)设置于半导体层(21),一对测定电极(24c、24d)构成为经由半导体层(21)测定基于压电振动元件(10)的温度的信号。
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公开(公告)号:CN102859597B
公开(公告)日:2015-02-11
申请号:CN201180020419.8
申请日:2011-04-28
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: G11B21/21 , G11B21/10 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/187 , H01L41/193
CPC classification number: H01L41/0472 , G11B5/4813 , G11B5/483 , G11B5/4873 , G11B5/5552 , H01L41/047 , H01L41/0477 , H01L41/0986
Abstract: 提供容易判别方向、且能容易地测定电特性的压电致动器。压电致动器(20)具备压电基板(21)、第1以及第2电极(22、23)、和导电膜(24)。第1以及第2电极(22、23)对压电基板(21)施加电压。导电膜(24)形成于第1电极(22)上。导电膜(24)由与第2电极(23)的色调不同的金属或合金构成。
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公开(公告)号:CN101931339B
公开(公告)日:2013-03-27
申请号:CN201010206764.8
申请日:2010-06-13
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H02N2/00 , H01L41/083 , H01L41/09
Abstract: 本发明提供一种小型且具有大变位量的压电致动器。致动器主体(10)具有:柱状的压电体(20);平衡锤(40),其与压电体(20)的第一端面(20a)接合,密度高于压电体(20)且具有导电性。第一导电层(31)在第一侧面(20c、40c)上形成。第二导电层(32)在第二侧面(20d、40d)上形成。通过相对于第一端面(20a)平行地形成有从第一导电层(31)的表面直到致动器主体(10)内部的第一槽(35),将第一导电层(31)分割为:与第一内部电极(21)连接但不和平衡锤(40)连接的部分(31a);与平衡锤(40)连接但不和第一内部电极(21)连接的部分(31b)。
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公开(公告)号:CN102044262B
公开(公告)日:2012-11-14
申请号:CN201010505875.9
申请日:2010-09-29
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: G11B5/55
CPC classification number: G11B5/4833 , G11B5/4873
Abstract: 本发明提供一种不容易产生粉尘、并且能以较高的安装强度进行安装的磁头驱动用压电陶瓷致动器。第一电极(22)包括:形成于第一主面(21a)的一部分上的第一外部电极部(22b);以及形成于第一端面(21e)上的第二外部电极部(22c)。第二电极(23)包括:形成于第二端面(21f)上的第三外部电极部(23c);以及形成于第一主面(21a)上的第四外部电极部(23d)。第一外部电极部(22b)和第二外部电极部(22c)各自的至少一部分、以及第三外部电极部(23c)和第四外部电极部(23d)各自的至少一部分分别构成通过导电剂(11)安装在基板(10)上的接合部(22A、23A)。涂敷膜(30)覆盖致动器主体(20)除接合部(22A、23A)以外的部分的至少一部分表面。
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