公开(公告)号：CN1961400A

公开(公告)日：2007-05-09

申请号：CN200580009834.8

申请日：2005-11-14

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 小方诚司 ,  樱田勇藏 ,  关口雅行 ,  西桥勉

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/265 ,  H01J37/147

CPC classification number: H01L21/265 ,  H01J37/05 ,  H01J37/147 ,  H01J37/1474 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/30483

Abstract: 本发明的课题是提供能抑制离子束的发散、能进行精细的扫描波形的控制、可得到约10°的大的扫描角的离子注入装置。在离子注入装置中，作成了具备如下的离子束扫描机构(10A)的结构：在离子束线上的规定部位上配置第1、第2、第3室(12A、14A、16A)，第2室(14A)，相对于第1、第3室(12A、16A)间隔第1、第2间隙(20A、22A)配置，第2室(14A)经在第1、第2间隙(20A、22A)中安装了的第1、第2这2对电极对(26A、28A)与第1、第3室(12A、16A)电绝缘，而且，第1、第2这2对电极对(26A、28A)以规定的角度与离子束的基准轴J在相反的方向上倾斜地相交，并且施加所希望的扫描波形的电位的扫描电源(40A)与第2室(14A)连接。

公开(公告)号：CN100589225C

公开(公告)日：2010-02-10

申请号：CN200580009834.8

申请日：2005-11-14

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 小方诚司 ,  樱田勇藏 ,  关口雅行 ,  西桥勉

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/265 ,  H01J37/147

CPC classification number: H01L21/265 ,  H01J37/05 ,  H01J37/147 ,  H01J37/1474 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/30483

Abstract: 本发明的课题是提供能抑制离子束的发散、能进行精细的扫描波形的控制、可得到约10°的大的扫描角的离子注入装置。在离子注入装置中，作成了具备如下的离子束扫描机构(10A)的结构：在离子束线上的规定部位上配置第1、第2、第3室(12A、14A、16A)，第2室(14A)，相对于第1、第3室(12A、16A)间隔第1、第2间隙(20A、22A)配置，第2室(14A)经在第1、第2间隙(20A、22A)中安装了的第1、第2这2对电极对(26A、28A)与第1、第3室(12A、16A)电绝缘，而且，第1、第2这2对电极对(26A、28A)以规定的角度与离子束的基准轴J在相反的方向上倾斜地相交，并且施加所希望的扫描波形的电位的扫描电源(40A)与第2室(14A)连接。