垂直腔表面发射激光器、装置、光学扫描设备和成像设备

    公开(公告)号:CN101599616B

    公开(公告)日:2011-01-05

    申请号:CN200910141334.X

    申请日:2009-06-02

    Inventor: 原敬 上西盛圣

    Abstract: 本发明公开了一种垂直腔表面发射激光器(VCSEL),VCSEL阵列装置,光学扫描设备和成像设备,其中VCSEL包括半导体衬底、形成在半导体衬底上的下反射镜和台结构。台结构包括有源层、包括电流限制结构的可选择的氧化层和上反射镜。下电极连接到半导体衬底,上电极连接到上反射镜。当电流在上电极和下电极之间流动时,VCSEL发射垂直于半导体衬底的平面的激光。半导体衬底关于(100)平面倾斜。有源层包括相对于衬底具有压缩应变的量子阱层和间隔层。间隔层相对于半导体衬底具有压缩应变或者拉伸应变。

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