公开(公告)号：CN102222622B

公开(公告)日：2014-08-06

申请号：CN201110094367.0

申请日：2011-04-12

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 吉原晋二 ,  浅海一志 ,  北村康宏 ,  大原淳士

IPC: H01L21/48 ,  H01L23/64

CPC classification number: H01L21/6835 ,  H01F5/003 ,  H01F41/041 ,  H01F41/046 ,  H01L2924/0002 ,  H05K1/165 ,  H05K2201/09672 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明涉及半导体装置和半导体装置的制造方法。在具有位于板(10)上的线圈层部分(21)的半导体装置的制造方法中，制备两个分别具有平坦表面的支承基板(80)，以及在每个支承基板的平坦表面上形成构件(30，40，50，60)。所述构件包括具有预定图案的布线部分(32，42，52，62)和包围该布线部分的绝缘膜(31，41，51，61)。布线部分设有从绝缘膜暴露的连接部分(32a，32b，42a，42b，52a，52b，62a，62b)。线圈层部分(21)在支承基板(80)的平坦表面相互平行的条件下通过使形成在支承基板(80)上的构件(30，40，50，60)彼此相对并结合形成。线圈(20)通过经由连接部分连接布线部分形成在线圈层部分中。

公开(公告)号：CN102222622A

公开(公告)日：2011-10-19

申请号：CN201110094367.0

申请日：2011-04-12

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 吉原晋二 ,  浅海一志 ,  北村康宏 ,  大原淳士

IPC: H01L21/48 ,  H01L23/64

CPC classification number: H01L21/6835 ,  H01F5/003 ,  H01F41/041 ,  H01F41/046 ,  H01L2924/0002 ,  H05K1/165 ,  H05K2201/09672 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明涉及半导体装置和半导体装置的制造方法。在具有位于板(10)上的线圈层部分(21)的半导体装置的制造方法中，制备两个分别具有平坦表面的支承基板(80)，以及在每个支承基板的平坦表面上形成构件(30，40，50，60)。所述构件包括具有预定图案的布线部分(32，42，52，62)和包围该布线部分的绝缘膜(31，41，51，61)。布线部分设有从绝缘膜暴露的连接部分(32a，32b，42a，42b，52a，52b，62a，62b)。线圈层部分(21)在支承基板(80)的平坦表面相互平行的条件下通过使形成在支承基板(80)上的构件(30，40，50，60)彼此相对并结合形成。线圈(20)通过经由连接部分连接布线部分形成在线圈层部分中。