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公开(公告)号：CN1272309C
公开(公告)日：2006-08-30
申请号：CN98803871.4
申请日：1998-02-04
Applicant: 株式会社神户制钢所 , 三井化学聚氨酯株式会社
IPC: C07C211/50 , C08J11/14
CPC classification number: C08J11/14 , C07C209/62 , C08J2375/00 , C08J2375/04 , Y02W30/704 , C07C211/50
Abstract: 一种用于分解有至少一个异氰酸基和/或由异氰酸基得到的基团的异氰酸酯化物，以便以该化合物的原料或衍生物的形式回收该化合物的设备，它包括用于使待分解的该化合物在一台高压下的反应器中事实上仅与被加热到190～370℃的液体水接触，以使该化合物水解的水解设备，和用于使自该反应器中排出的分解产物经受如脱水、加成、蒸馏、分离和液体分离等后处理的后处理设备。
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公开(公告)号：CN1426089A
公开(公告)日：2003-06-25
申请号：CN02118458.5
申请日：2002-04-24
Applicant: 株式会社神户制钢所
IPC: H01L21/027 , H01L21/304
Abstract: 本发明是一种在用碳氟化合物系溶剂覆盖微细结构体表面的状态下，使该微细结构体与液态二氧化碳或超临界二氧化碳接触进行干燥的方法。采用本发明的干燥方法，在用液态/超临界二氧化碳处理前，在用碳氟化合物系溶剂覆盖微细结构体表面的状态下使之与二氧化碳接触，从而能够尽可能地抑制光致抗蚀剂图案的倒塌或膨润。另外，包括使用含水溶剂的洗涤工序的情况下，由于其构成为用排水液置换水，再用碳氟化合物系溶剂置换该排水液，因此能够迅速进行采用液态/超临界二氧化碳的干燥之前的工序，也可以抑制光致抗蚀剂图案的倒塌或膨润。
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公开(公告)号：CN1188776A
公开(公告)日：1998-07-29
申请号：CN97102903.2
申请日：1997-01-20
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: Y02P20/544 , Y02W30/704
Abstract: 着眼于迄今为止除了焚烧和废弃处理以外没有办法利用的废弃物,确立将包含在这些废弃物中的对象化合物分解成化学设备中的目的化合物的起始原料化合物或其衍生物,能有效再利用的连续处理方法。本发明是将包含具有醚键、酯键、酰胺键、异氰酸酯键中任一种以上的水解性键对象化物的废弃物分解的方法,在将废弃物以熔融状态或液体状态连续地供给反应器的同时,向反应器连续供给超临界水或高压高温水,使之与该废弃物接触,将对象化合物分解,作为原料化合物或其衍生物而回收利用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1101417C
公开(公告)日：2003-02-12
申请号：CN97102903.2
申请日：1997-01-20
Applicant: 株式会社神户制钢所 , 三井武田化学株式会社
CPC classification number: Y02P20/544 , Y02W30/704
Abstract: 着眼于迄今为止除了焚烧和废弃处理以外没有办法利用的废弃物，确立将包含在这些废弃物中的对象化合物分解成化学设备中的目的化合物的起始原料化合物或其衍生物，能有效再利用的连续处理方法。本发明是将包含具有醚键、酯键、酰胺键、异氰酸酯键中任一种以上的水解性键对象化物的废弃物分解的方法，在将废弃物以熔融状态或液体状态连续地供给反应器的同时，向反应器连续供给超临界水或高压高温水，使之与该废弃物接触，将对象化合物分解，作为原料化合物或其衍生物而回收利用。
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公开(公告)号：CN1251570A
公开(公告)日：2000-04-26
申请号：CN98803871.4
申请日：1998-02-04
Applicant: 株式会社神户制钢所 , 武田药品工业株式会社
IPC: C07C211/50 , C07C209/62 , B09B3/00 , C08J11/14
CPC classification number: C08J11/14 , C07C209/62 , C08J2375/00 , C08J2375/04 , Y02W30/704 , C07C211/50
Abstract: 一种用于分解有至少一个异氰酸基和/或由异氰酸基得到的基团的异氰酸酯化物,以便以该化合物的原料或衍生物的形式回收该化合物的设备,它包括用于使待分解的该化合物在一台高压下的反应器中事实上仅与被加热到190～370℃的液体水接触,以使该化合物水解的水解设备,和用于使自该反应器中排出的分解产物经受如脱水、加成、蒸馏、分离和液体分离等后处理的后处理设备。
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公开(公告)号：CN1204603C
公开(公告)日：2005-06-01
申请号：CN02118458.5
申请日：2002-04-24
Applicant: 株式会社神户制钢所
IPC: H01L21/304 , F26B5/06 , G03F7/40
Abstract: 本发明是一种在用碳氟化合物系溶剂覆盖微细结构体表面的状态下，使该微细结构体与液态二氧化碳或超临界二氧化碳接触进行干燥的方法。采用本发明的干燥方法，在用液态/超临界二氧化碳处理前，在用碳氟化合物系溶剂覆盖微细结构体表面的状态下使之与二氧化碳接触，从而能够尽可能地抑制光致抗蚀剂图案的倒塌或膨润。另外，包括使用含水溶剂的洗涤工序的情况下，由于其构成为用排水液置换水，再用碳氟化合物系溶剂置换该排水液，因此能够迅速进行采用液态/超临界二氧化碳的干燥之前的工序，也可以抑制光致抗蚀剂图案的倒塌或膨润。
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公开(公告)号：CN1434010A
公开(公告)日：2003-08-06
申请号：CN02107350.3
申请日：1997-01-20
Applicant: 株式会社神户制钢所 , 三井武田化学株式会社
CPC classification number: Y02P20/544 , Y02W30/704
Abstract: 由废弃物回收单体化合物的方法和装置。回收方法包括将废弃物供入反应器；将100－400℃、5－40MPa的超临界水或高压/高温水连续加入反应器中；使废弃物的可水解性键分解，以使废弃物分解；对单体化合物回收。回收装置包括反应器、超临界水或高压/高温水的连续供给装置以及将已水解的废弃物导入分离器的装置。
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公开(公告)号：CN1255509A
公开(公告)日：2000-06-07
申请号：CN99125201.2
申请日：1999-11-29
Applicant: 武田药品工业株式会社 , 株式会社神户制钢所
IPC: C08J11/14 , C07C209/00
CPC classification number: Y02P20/544 , Y02W30/704
Abstract: 公开了一种分解回收聚氨酯树脂为多胺化合物和多羟基化合物的设备,该设备包括:一种流化聚氨酯树脂的流化器;一个用超临界水或高温高压水水解流化混合物的反应器;一个向反应器中供应高温高压水或超临界水的供水器;和一个后处理器。后处理步骤例如脱水、加水、蒸馏、分离和液体分离。还可以提供一种连续分解和回收的设备。这有利于降低能源费用,减小整个设备的大小,去掉杂质,并降低要分解的物质所需的量。
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