公开(公告)号：CN1204603C

公开(公告)日：2005-06-01

申请号：CN02118458.5

申请日：2002-04-24

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 川上信之 ,  铃木康平 ,  饭岛胜之 ,  田中丈晴 ,  长濑佳之 ,  增田薰

IPC: H01L21/304 ,  F26B5/06 ,  G03F7/40

CPC classification number: G03F7/32 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明是一种在用碳氟化合物系溶剂覆盖微细结构体表面的状态下，使该微细结构体与液态二氧化碳或超临界二氧化碳接触进行干燥的方法。采用本发明的干燥方法，在用液态/超临界二氧化碳处理前，在用碳氟化合物系溶剂覆盖微细结构体表面的状态下使之与二氧化碳接触，从而能够尽可能地抑制光致抗蚀剂图案的倒塌或膨润。另外，包括使用含水溶剂的洗涤工序的情况下，由于其构成为用排水液置换水，再用碳氟化合物系溶剂置换该排水液，因此能够迅速进行采用液态/超临界二氧化碳的干燥之前的工序，也可以抑制光致抗蚀剂图案的倒塌或膨润。

公开(公告)号：CN1426089A

公开(公告)日：2003-06-25

申请号：CN02118458.5

申请日：2002-04-24

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 川上信之 ,  铃木康平 ,  饭岛胜之 ,  田中丈晴 ,  长濑佳之 ,  增田薰

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/304

CPC classification number: G03F7/32 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明是一种在用碳氟化合物系溶剂覆盖微细结构体表面的状态下，使该微细结构体与液态二氧化碳或超临界二氧化碳接触进行干燥的方法。采用本发明的干燥方法，在用液态/超临界二氧化碳处理前，在用碳氟化合物系溶剂覆盖微细结构体表面的状态下使之与二氧化碳接触，从而能够尽可能地抑制光致抗蚀剂图案的倒塌或膨润。另外，包括使用含水溶剂的洗涤工序的情况下，由于其构成为用排水液置换水，再用碳氟化合物系溶剂置换该排水液，因此能够迅速进行采用液态/超临界二氧化碳的干燥之前的工序，也可以抑制光致抗蚀剂图案的倒塌或膨润。

公开(公告)号：CN104136578A

公开(公告)日：2014-11-05

申请号：CN201380011073.4

申请日：2013-02-28

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 滨口真基 ,  奥山宪幸 ,  堺康尔 ,  田中丈晴 ,  冈高宪 ,  宍户贵洋 ,  石田一秀 ,  小谷充史

IPC: C10B53/08 ,  C10B57/04 ,  C10L5/04

CPC classification number: C10B53/08 ,  C10B57/04 ,  C10L5/04 ,  C10L5/14

Abstract: 本发明提供一种成型混煤，其包含在粒状的煤中混合有无灰煤和萃余煤的混煤，所述无灰煤含有煤的可溶于溶剂的成分，所述萃余煤是从煤中除去了可溶于所述溶剂的成分而得到的。所述混煤含有3重量％以上的所述无灰煤，含有8重量％以下的所述萃余煤，作为余量含有所述粒状的煤。

公开(公告)号：CN104395431B

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201380031594.6

申请日：2013-06-26

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 滨口真基 ,  奥山宪幸 ,  堺康尔 ,  田中丈晴 ,  冈高宪 ,  宍户贵洋 ,  松井良行

IPC: C10B53/00 ,  C10B53/08

CPC classification number: C10B53/08 ,  C10B57/04 ,  C10L5/04 ,  C10L5/361 ,  C10L2290/544

Abstract: 本发明提供一种焦炭，是将成形用原料成形为块状而成为成形物，对该成形物进行干馏而得到的焦炭。所述成形用原料含有以溶剂对煤进行萃取处理而制造无灰煤的过程产生的萃余煤、煤和水分，所述煤的含量为所述成形用原料的5质量％[干燥基准]以下(含0质量％)，所述水分的含量为所述成形用原料的8质量％[干燥基准]以下(含0质量％)。

公开(公告)号：CN104428398A

公开(公告)日：2015-03-18

申请号：CN201380035619.X

申请日：2013-06-28

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 滨口真基 ,  奥山宪幸 ,  堺康尔 ,  田中丈晴 ,  宍户贵洋 ,  石田一秀 ,  小谷充史 ,  西端裕子

IPC: C10B57/04 ,  C10B57/08

CPC classification number: C10B57/04 ,  C10B57/08

Abstract: 本发明的焦炭的特征在于，将2～8％的无灰煤混合于煤中并进行干馏而成，煤和无灰煤的混合物的最高流动度MF值(log(ddpm))为1.8～3.0。利用无灰煤填补粘结性并将其添加率控制在8％以下，利用煤确保整体上的流动度，从而防止无灰煤导致的体积破坏和结晶的发展障碍，生成大粒的焦炭。

公开(公告)号：CN104395431A

公开(公告)日：2015-03-04

申请号：CN201380031594.6

申请日：2013-06-26

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 滨口真基 ,  奥山宪幸 ,  堺康尔 ,  田中丈晴 ,  冈高宪 ,  宍户贵洋 ,  松井良行

IPC: C10B53/00 ,  C10B53/08

CPC classification number: C10B53/08 ,  C10B57/04 ,  C10L5/04 ,  C10L5/361 ,  C10L2290/544

Abstract: 本发明提供一种焦炭，是将成形用原料成形为块状而成为成形物，对该成形物进行干馏而得到的焦炭。所述成形用原料含有以溶剂对煤进行萃取处理而制造无灰煤的过程产生的萃余煤、煤和水分，所述煤的含量为所述成形用原料的5质量％[干燥基准]以下(含0质量％)，所述水分的含量为所述成形用原料的8质量％[干燥基准]以下(含0质量％)。

公开(公告)号：CN100521077C

公开(公告)日：2009-07-29

申请号：CN200610171976.0

申请日：2006-09-29

Applicant: 株式会社神户制钢所 ,  国立大学法人京都大学

Inventor： 平野贵之 ,  川上信之 ,  田中丈晴 ,  铃木哲雄 ,  福本吉人 ,  中西和树 ,  金森主祥

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/48 ,  H01L21/31 ,  H01L21/316 ,  H01L23/498 ,  H01L23/12 ,  H05K1/02 ,  H05K1/03 ,  H05K3/00 ,  H01P3/08 ,  H01P11/00

CPC classification number: H05K3/0011 ,  B32B21/04 ,  H05K1/024 ,  H05K1/0306 ,  H05K2201/0116 ,  Y10T428/249953 ,  Y10T428/249969

Abstract: 一种多孔基板，包括：在基板内部的三维网状骨架、以及与在基板至少一个表面上形成的骨架固相质量相同的表层，并且其制造方法包括：通过溶胶-凝胶反应在一对平板之间的空间中形成湿凝胶，该湿凝胶具有三维网状骨架固相和富含溶剂的液相，所述固相和液相相互分离，通过干燥去除湿凝胶中的溶剂，和除去该对平板中的至少一个平板。

公开(公告)号：CN101009205A

公开(公告)日：2007-08-01

申请号：CN200610171976.0

申请日：2006-09-29

Applicant: 株式会社神户制钢所 ,  国立大学法人京都大学

Inventor： 平野贵之 ,  川上信之 ,  田中丈晴 ,  铃木哲雄 ,  福本吉人 ,  中西和树 ,  金森主祥

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/48 ,  H01L21/31 ,  H01L21/316 ,  H01L23/498 ,  H01L23/12 ,  H05K1/02 ,  H05K1/03 ,  H05K3/00 ,  H01P3/08 ,  H01P11/00

CPC classification number: H05K3/0011 ,  B32B21/04 ,  H05K1/024 ,  H05K1/0306 ,  H05K2201/0116 ,  Y10T428/249953 ,  Y10T428/249969

Abstract: 一种多孔基板，包括：在基板内部的三维网状骨架、以及与在基板至少一个表面上形成的骨架固相质量相同的表层，并且其制造方法包括：通过溶胶－凝胶反应在一对平板之间的空间中形成湿凝胶，该湿凝胶具有三维网状骨架固相和富含溶剂的液相，所述固相和液相相互分离，通过干燥去除湿凝胶中的溶剂，和除去该对平板中的至少一个平板。