公开(公告)号：CN100499018C

公开(公告)日：2009-06-10

申请号：CN03137815.3

申请日：2003-05-21

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 增田薰 ,  饭岛胜之 ,  吉川哲也 ,  D·W·彼得斯

IPC: H01L21/00 ,  B08B3/00 ,  C11D7/50 ,  G03F7/42

CPC classification number: C11D7/3209 ,  B08B7/0021 ,  C11D7/32 ,  C11D7/5022 ,  C11D11/0047 ,  G03F7/422 ,  G03F7/425

Abstract: 本发明提供一种从物体的微结构中清除残余物的方法，其包括下述步骤：制备包括二氧化碳、用于清除残余物的添加剂、在加压流体条件下将添加剂溶解在所说的二氧化碳中的共溶剂的清除剂，使物体和所说的清除剂接触以清除物体中残余物。本发明还提供一种用于从物体的微结构中清除残余物的组合物。

公开(公告)号：CN1494954A

公开(公告)日：2004-05-12

申请号：CN03137815.3

申请日：2003-05-21

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 增田薰 ,  饭岛胜之 ,  吉川哲也 ,  D·W·彼得斯

IPC: B08B3/00 ,  C11D7/50

CPC classification number: C11D7/3209 ,  B08B7/0021 ,  C11D7/32 ,  C11D7/5022 ,  C11D11/0047 ,  G03F7/422 ,  G03F7/425

Abstract: 本发明提供一种从物体的微结构中清除残余物的方法，其包括下述步骤：制备包括二氧化碳、用于清除残余物的添加剂、在加压流体条件下将添加剂溶解在所说的二氧化碳中的共溶剂的清除剂，使物体和所说的清除剂接触以清除物体中残余物。本发明还提供一种用于从物体的微结构中清除残余物的组合物。