氧化铈复合粉末的分散组合物

    公开(公告)号:CN114667328A

    公开(公告)日:2022-06-24

    申请号:CN202180005005.1

    申请日:2021-07-07

    Abstract: 本发明涉及一种氧化铈复合粉末以及包含所述氧化铈复合粉末的分散组合物,所述氧化铈复合粉末,含有粒子大小互不相同且满足特定组合范围的两种以上的氧化铈粒子,而且通过对分散组合物溶液内所包含的氧化铈复合粉末的平均密度进行控制,在将其适用于分散组合物时,可以在不对基板造成损伤的同时实现较高的研磨速度,还具有储藏稳定性优秀的优点。

    氧化铈复合粉末的分散组合物

    公开(公告)号:CN114667328B

    公开(公告)日:2025-05-06

    申请号:CN202180005005.1

    申请日:2021-07-07

    Abstract: 本发明涉及一种氧化铈复合粉末以及包含所述氧化铈复合粉末的分散组合物,所述氧化铈复合粉末,含有粒子大小互不相同且满足特定组合范围的两种以上的氧化铈粒子,而且通过对分散组合物溶液内所包含的氧化铈复合粉末的平均密度进行控制,在将其适用于分散组合物时,可以在不对基板造成损伤的同时实现较高的研磨速度,还具有储藏稳定性优秀的优点。

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