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发明公开
真空排气方法及真空排气系统审中-实审

公开(公告)号：CN114962211A

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN202210105818.4

申请日：2022-01-28

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 佐佐木慎一郎 , 穂积崇史 , 盐川笃志

IPC: F04B37/14 , F04B41/06 , F04B39/06 , F04B49/22 , F04B49/24 , F04B49/06

Abstract: 本发明提供一种能够抑制副生成物的生成并解决伴随非活性气体的导入的问题的真空排气方法及真空排气系统。真空排气方法包含如下工序：在使真空泵装置(DP)起动之后，使真空泵装置(DP)的转速上升至规定的稳定速度的上升工序；以及在真空泵装置(DP)的转速到达稳定速度之后，向真空泵装置(DP)导入非活性气体的气体导入工序。

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