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公开(公告)号：CN112664460B
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202011095546.1
申请日：2020-10-14
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种真空泵装置，能够将转子室的内部维持在较高的温度。真空泵装置具备：泵壳(2)，该泵壳在内部具有转子室(1)；泵转子(5)，该泵转子配置在转子室(1)内；旋转轴(7)，该旋转轴固定有泵转子(5)；电动机(8)，该电动机与旋转轴(7)连结；侧罩(10A)，该侧罩形成转子室(1)的端面；以及侧加热器(55A)，该侧加热器配置在侧罩(10A)内。
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公开(公告)号：CN112664453B
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202011095756.0
申请日：2020-10-14
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种真空泵装置，能够防止由于热传导引起的泵壳的温度降低，能够将转子室的内部维持在较高的温度。真空泵装置具备：泵壳(2)，该泵壳在内部具有转子室(1)；泵转子(5)，该泵转子配置在转子室(1)内；旋转轴(7)，该旋转轴固定有泵转子(5)；电动机(8)，该电动机与旋转轴(7)连结；侧罩(10A)，该侧罩形成转子室(1)的端面；外壳构造体(16)，该外壳构造体在旋转轴(7)的轴向上位于侧罩(10A)的外侧；以及隔热体(25A)，该隔热体位于泵壳(2)与外壳构造体(16)之间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114962211A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210105818.4
申请日：2022-01-28
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种能够抑制副生成物的生成并解决伴随非活性气体的导入的问题的真空排气方法及真空排气系统。真空排气方法包含如下工序：在使真空泵装置(DP)起动之后，使真空泵装置(DP)的转速上升至规定的稳定速度的上升工序；以及在真空泵装置(DP)的转速到达稳定速度之后，向真空泵装置(DP)导入非活性气体的气体导入工序。
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公开(公告)号：CN103633776B
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201310241596.X
申请日：2013-06-18
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: F04B17/00 , F04C29/0085 , F04C2220/10 , F04C2230/605 , F04C2240/40 , F04C2270/12 , F04C2280/04 , H02K7/04 , H02K7/14
Abstract: 本发明提供一种真空泵用电机及具有该真空泵用电机的真空泵，该电机为与真空泵（20）的泵主轴（21）直接连接的真空泵用的电机（100），其包括：电机转子（120），该电机转子（120）直接地或间接地安装于所述泵主轴（21）；以及平衡环（127），该平衡环（127）直接地或间接地安装于所述泵主轴（21），该平衡环（127）安装在从转子铁心（123）的两端部离开的该转子铁心（123）两侧，所述平衡环（127）包含具有耐腐蚀性的材料。上述电机不会产生旋转不平衡。
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公开(公告)号：CN112664460A
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：CN202011095546.1
申请日：2020-10-14
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种真空泵装置，能够将转子室的内部维持在较高的温度。真空泵装置具备：泵壳(2)，该泵壳在内部具有转子室(1)；泵转子(5)，该泵转子配置在转子室(1)内；旋转轴(7)，该旋转轴固定有泵转子(5)；电动机(8)，该电动机与旋转轴(7)连结；侧罩(10A)，该侧罩形成转子室(1)的端面；以及侧加热器(55A)，该侧加热器配置在侧罩(10A)内。
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公开(公告)号：CN112664453A
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：CN202011095756.0
申请日：2020-10-14
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种真空泵装置，能够防止由于热传导引起的泵壳的温度降低，能够将转子室的内部维持在较高的温度。真空泵装置具备：泵壳(2)，该泵壳在内部具有转子室(1)；泵转子(5)，该泵转子配置在转子室(1)内；旋转轴(7)，该旋转轴固定有泵转子(5)；电动机(8)，该电动机与旋转轴(7)连结；侧罩(10A)，该侧罩形成转子室(1)的端面；外壳构造体(16)，该外壳构造体在旋转轴(7)的轴向上位于侧罩(10A)的外侧；以及隔热体(25A)，该隔热体位于泵壳(2)与外壳构造体(16)之间。
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公开(公告)号：CN103633776A
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201310241596.X
申请日：2013-06-18
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: F04B17/00 , F04C29/0085 , F04C2220/10 , F04C2230/605 , F04C2240/40 , F04C2270/12 , F04C2280/04 , H02K7/04 , H02K7/14
Abstract: 本发明提供一种真空泵用电机及具有该真空泵用电机的真空泵，该电机为与真空泵（20）的泵主轴（21）直接连接的真空泵用的电机（100），其包括：电机转子（120），该电机转子（120）直接地或间接地安装于所述泵主轴（21）；以及平衡环（127），该平衡环（127）直接地或间接地安装于所述泵主轴（21），该平衡环（127）安装在从转子铁心（123）的两端部离开的该转子铁心（123）两侧，所述平衡环（127）包含具有耐腐蚀性的材料。上述电机不会产生旋转不平衡。
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