公开(公告)号：CN114846584B

公开(公告)日：2023-05-05

申请号：CN202080090122.8

申请日：2020-12-21

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 松田道昭 ,  中野央二郎 ,  大垣冬季 ,  渡边裕辅 ,  国泽淳次

IPC: H01L21/304

Abstract: 清洗装置具备：多个辊，该多个辊保持基板的周缘部；旋转驱动部，该旋转驱动部通过驱动所述多个辊旋转而使所述基板旋转；清洗部件，该清洗部件与所述基板抵接而进行该基板的清洗；清洗液供给喷嘴，该清洗液供给喷嘴向所述基板供给清洗液；传声器，该传声器对由于所述基板的周缘部的切口与所述多个辊接触而产生的声音进行检测；以及旋转速度计算部，该旋转速度计算部基于由所述传声器检测的声音计算所述基板的旋转速度。

公开(公告)号：CN114846584A

公开(公告)日：2022-08-02

申请号：CN202080090122.8

申请日：2020-12-21

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 松田道昭 ,  中野央二郎 ,  大垣冬季 ,  渡边裕辅 ,  国泽淳次

IPC: H01L21/304

Abstract: 清洗装置具备：多个辊，该多个辊保持基板的周缘部；旋转驱动部，该旋转驱动部通过驱动所述多个辊旋转而使所述基板旋转；清洗部件，该清洗部件与所述基板抵接而进行该基板的清洗；清洗液供给喷嘴，该清洗液供给喷嘴向所述基板供给清洗液；传声器，该传声器对由于所述基板的周缘部的切口与所述多个辊接触而产生的声音进行检测；以及旋转速度计算部，该旋转速度计算部基于由所述传声器检测的声音计算所述基板的旋转速度。