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公开(公告)号：CN118077044A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202280067492.9
申请日：2022-07-29
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01L21/677 , H01L21/304 , H01L21/683
Abstract: 本发明的基板支撑装置具备：配置于框体内，并保持基板的周缘部的多个辊；通过驱动多个辊旋转而使基板旋转的旋转驱动部；设置成从辊或旋转驱动部延伸至框体，将因基板的周缘部的凹槽或定向平面接触辊而产生的振动传递至框体的振动传递机构；配置于框体的外侧，检测从框体产生的声音、振动及应变中的至少一个，并输出与其对应的信号的检测传感器；及基于从检测传感器输出的信号来计算基板的旋转速度的旋转速度计算部。
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公开(公告)号：CN107850221B
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201680041690.2
申请日：2016-05-02
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 渡边裕辅
IPC: F16J15/447
Abstract: 实现对由旋转轴的周向上的回旋流引起的不稳定振动的抑制效果的提高，同时抑制在密封件内部通过的流体的泄漏量的增加。根据本发明，提供一种非接触环状密封件，其构成为具有设于旋转机械的旋转部的旋转体、和设于上述旋转机械的固定部的固定体，并将在上述旋转体与上述固定体之间的间隙中流动的流体密封。非接触环状密封件具有螺纹槽，该螺纹槽设于形成上述间隙的上述旋转体的表面及上述固定体的表面中的至少一方上，上述螺纹槽划定相对于与上述旋转体的轴向正交的平面而言的上述螺纹槽的导程角，密封件入口侧的上述螺纹槽的上述导程角比密封件出口侧的上述螺纹槽的上述导程角大。
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公开(公告)号：CN106574623B
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201580043787.2
申请日：2015-07-09
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F04D13/00 , F04D29/056
CPC classification number: F04D13/00 , F04D29/056
Abstract: 一种立轴泵，其能够降低振动和摩擦。该立轴泵具有：与旋转轴连接并旋转的物体；第一滑动轴承，其在外周面上具有第一滑动部并通过内周面支承该第一滑动部；和第二滑动轴承，其在内周面上具有第二滑动部并通过外周面支承该第二滑动部，将上述第一滑动部或第二滑动部的至少一方连接在与上述旋转轴连接并旋转的物体中重量比较大的物体上。
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公开(公告)号：CN107850220A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201680040339.1
申请日：2016-05-02
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 渡边裕辅
Abstract: 提供降低在为了增大泵效应而增大了导程角时所伴生的泄漏量的非接触环状密封件以及具备其的旋转机械。非接触环状密封件用于对在旋转体与固定体的间隙从高压侧流向低压侧的流体进行密封，并具有设置于形成间隙的旋转体的表面或固定体的表面的螺纹槽。螺纹槽具有低压侧的螺纹槽的截面积比高压侧的螺纹槽的截面积小的区域。所述螺纹槽的条数为4条以上。旋转机械具有该非接触环状密封件。
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公开(公告)号：CN117836091A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202280054489.3
申请日：2022-07-04
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: B24B37/013 , B24B49/10 , B24B49/16 , H01L21/304
Abstract: 即使研磨摩擦力的变化较小仍可精确检测研磨终点。研磨装置具备：用于保持研磨垫的研磨台；用于将研磨对象物保持为与所述研磨垫相对的保持部；及基于表示由所述研磨垫研磨所述研磨对象物的状态的信号，检测表示所述研磨结束的研磨终点的终点检测部，所述终点检测部构成为，除去所述信号的噪声，并将除去噪声后的所述信号以比1大的指数乘幂，并基于所述乘幂后的信号来检测所述研磨终点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107850221A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201680041690.2
申请日：2016-05-02
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 渡边裕辅
IPC: F16J15/447
Abstract: 实现对由旋转轴的周向上的回旋流引起的不稳定振动的抑制效果的提高，同时抑制在密封件内部通过的流体的泄漏量的增加。根据本发明，提供一种非接触环状密封件，其构成为具有设于旋转机械的旋转部的旋转体、和设于上述旋转机械的固定部的固定体，并将在上述旋转体与上述固定体之间的间隙中流动的流体密封。非接触环状密封件具有螺纹槽，该螺纹槽设于形成上述间隙的上述旋转体的表面及上述固定体的表面中的至少一方上，上述螺纹槽划定相对于与上述旋转体的轴向正交的平面而言的上述螺纹槽的导程角，密封件入口侧的上述螺纹槽的上述导程角比密封件出口侧的上述螺纹槽的上述导程角大。
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公开(公告)号：CN107605793A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201710922716.0
申请日：2014-07-24
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F04D29/046 , F04D29/70 , F04D29/02
Abstract: 本发明不损失耐磨损性地在干燥运转时和在包含泥浆的排水运转时等也会防止因基于摩擦力和/或液膜等产生的不稳定化力而导致的振动。本发明的立轴泵在旋转轴(10(10′))的外周具有金属制的套筒(11)。在套筒(11)的外周侧设有第1滑动轴承(1)。另外，在第1轴承壳(12)的外周面上设有第2滑动轴承(9)。在旋转轴(10(10′))上固定有套筒壳(15)。在套筒壳(15)的内周面上设有套筒(14)。
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公开(公告)号：CN106662109B
公开(公告)日：2018-12-14
申请号：CN201580038340.6
申请日：2015-07-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F04D13/00 , F04D11/00 , F04D29/056 , F04D29/60
Abstract: 本发明提供一种立轴泵，即使对于大容量的泵也无需将泵吊起而能够在将泵安置好的状态下容易地更换水中轴承，另外还使水中轴承的可靠性提高。本发明的立轴泵具备：引导壳体(1)；将引导壳体(1)悬挂在水槽(5)内的悬吊管(3)；与悬吊管(3)的上端连接的排出弯管(4)；收容在引导壳体(1)内的叶轮(10)；和供叶轮(10)固定的旋转轴(6)。旋转轴(6)由水中轴承单元(12)及外轴承(11)旋转自如地支承。水中轴承单元(12)位于叶轮(10)的下方并支承旋转轴(6)的下端。旋转轴(6)不经由外轴承(11)以外的轴承地从外轴承(11)贯穿叶轮(10)并延伸。水中轴承单元(12)具有用轴承内周面支承旋转轴(6)的滑动部的内接轴承、和用轴承外周面支承旋转轴(6)的滑动部的外接轴承。
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公开(公告)号：CN105408635B
公开(公告)日：2017-10-27
申请号：CN201480041832.6
申请日：2014-07-24
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F04D29/046 , F04D11/00 , F04D13/00
CPC classification number: F04D13/08 , F04D29/0465 , F04D29/0476 , F16C17/02 , F16C27/02
Abstract: 本发明不损失耐磨损性地在干燥运转时和在包含泥浆的排水运转时等也会防止因基于摩擦力和/或液膜等产生的不稳定化力而导致的振动。本发明的立轴泵在旋转轴(10(10′))的外周具有金属制的套筒(11)。在套筒(11)的外周侧设有第1滑动轴承(1)。另外，在第1轴承壳(12)的外周面上设有第2滑动轴承(9)。在旋转轴(10(10′))上固定有套筒壳(15)。在套筒壳(15)的内周面上设有套筒(14)。
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公开(公告)号：CN114846584B
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202080090122.8
申请日：2020-12-21
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01L21/304
Abstract: 清洗装置具备：多个辊，该多个辊保持基板的周缘部；旋转驱动部，该旋转驱动部通过驱动所述多个辊旋转而使所述基板旋转；清洗部件，该清洗部件与所述基板抵接而进行该基板的清洗；清洗液供给喷嘴，该清洗液供给喷嘴向所述基板供给清洗液；传声器，该传声器对由于所述基板的周缘部的切口与所述多个辊接触而产生的声音进行检测；以及旋转速度计算部，该旋转速度计算部基于由所述传声器检测的声音计算所述基板的旋转速度。
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