公开(公告)号：CN105619251A

公开(公告)日：2016-06-01

申请号：CN201510801236.X

申请日：2015-11-19

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 小菅隆一 ,  外崎宏 ,  小寺刚 ,  长谷川亮

IPC: B24B53/017 ,  B24B37/10 ,  B23P15/00

Abstract: 本发明提供一种使浆料等研磨液难以附着于表面的研磨面清洗装置。研磨面清洗装置具有：臂(12)，具有流体流路(30)；喷嘴(15)，与流体流路(30)连通；以及焊接材料(35)，将喷嘴(15)固定于臂(12)。臂(12)的底面(12a)与喷嘴(15)的顶端面(15a)的缘部(15b)之间的间隙被焊接材料(35)填满。

公开(公告)号：CN105619251B

公开(公告)日：2020-08-14

申请号：CN201510801236.X

申请日：2015-11-19

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 小菅隆一 ,  外崎宏 ,  小寺刚 ,  长谷川亮

IPC: B24B53/017 ,  B24B37/10 ,  B23P15/00

Abstract: 本发明提供一种使浆料等研磨液难以附着于表面的研磨面清洗装置。研磨面清洗装置具有：臂(12)，具有流体流路(30)；喷嘴(15)，与流体流路(30)连通；以及焊接材料(35)，将喷嘴(15)固定于臂(12)。臂(12)的底面(12a)与喷嘴(15)的顶端面(15a)的缘部(15b)之间的间隙被焊接材料(35)填满。