公开(公告)号：CN101111680B

公开(公告)日：2010-12-01

申请号：CN200680003883.5

申请日：2006-04-07

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 杉浦哲郎 ,  田中敬二 ,  中泽敏治 ,  木户功一 ,  山崎智行

IPC: F04B49/10

CPC classification number: F04B51/00 ,  F04C18/126 ,  F04C18/16 ,  F04C23/001 ,  F04C25/02 ,  F04C2220/10 ,  F04C2270/80 ,  F04C2280/02

Abstract: 本发明提供了一种能够进行干式真空泵的自诊断的真空泵自诊断方法、真空泵自诊断系统以及真空泵中央监控系统。真空泵自诊断方法确定故障的发生，并且当预定的警报设定值被用于旋转所述真空泵的转子的马达的电流的积分值或平均值超过时产生警报。在用于进行真空泵的自诊断的真空泵自诊断系统中，该真空泵包括外壳和设置在外壳内的可旋转的转子，以通过转子的旋转吸入和排出气体，转子包括多级，且压力传感器设置在转子级之间。设置一自诊断单元，以计算用于旋转所述转子的马达的电流的积分值或平均值，并且当积分值或平均值超过预定警报设定值时进行真空泵的自诊断。该自诊断单元基于由所述压力传感器检测的压力值从一种自诊断计算方法转换到另一种自诊断计算方法或中断自诊断计算。

公开(公告)号：CN101111680A

公开(公告)日：2008-01-23

申请号：CN200680003883.5

申请日：2006-04-07

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 杉浦哲郎 ,  田中敬二 ,  中泽敏治 ,  木户功一 ,  山崎智行

IPC: F04B49/10

CPC classification number: F04B51/00 ,  F04C18/126 ,  F04C18/16 ,  F04C23/001 ,  F04C25/02 ,  F04C2220/10 ,  F04C2270/80 ,  F04C2280/02

Abstract: 本发明提供了一种能够进行干式真空泵的自诊断的真空泵自诊断方法、真空泵自诊断系统以及真空泵中央监控系统。真空泵自诊断方法确定故障的发生，并且当预定的警报设定值被用于旋转所述真空泵的转子的马达的电流的积分值或平均值超过时产生警报。在用于进行真空泵的自诊断的真空泵自诊断系统中，该真空泵包括外壳和设置在外壳内的可旋转的转子，以通过转子的旋转吸入和排出气体，转子包括多级，且压力传感器设置在转子级之间。设置一自诊断单元，以计算用于旋转所述转子的马达的电流的积分值或平均值，并且当积分值或平均值超过预定警报设定值时进行真空泵的自诊断。该自诊断单元基于由所述压力传感器检测的压力值从一种自诊断计算方法转换到另一种自诊断计算方法或中断自诊断计算。