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公开(公告)号：CN101111680A
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：CN200680003883.5
申请日：2006-04-07
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F04B49/10
CPC classification number: F04B51/00 , F04C18/126 , F04C18/16 , F04C23/001 , F04C25/02 , F04C2220/10 , F04C2270/80 , F04C2280/02
Abstract: 本发明提供了一种能够进行干式真空泵的自诊断的真空泵自诊断方法、真空泵自诊断系统以及真空泵中央监控系统。真空泵自诊断方法确定故障的发生，并且当预定的警报设定值被用于旋转所述真空泵的转子的马达的电流的积分值或平均值超过时产生警报。在用于进行真空泵的自诊断的真空泵自诊断系统中，该真空泵包括外壳和设置在外壳内的可旋转的转子，以通过转子的旋转吸入和排出气体，转子包括多级，且压力传感器设置在转子级之间。设置一自诊断单元，以计算用于旋转所述转子的马达的电流的积分值或平均值，并且当积分值或平均值超过预定警报设定值时进行真空泵的自诊断。该自诊断单元基于由所述压力传感器检测的压力值从一种自诊断计算方法转换到另一种自诊断计算方法或中断自诊断计算。
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公开(公告)号：CN1877132A
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200610074182.2
申请日：2006-04-07
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种可在最适合处理状态的状态下运转并提高真空排气系统的效率的真空排气系统。真空排气系统(10)具有真空泵(20)、(30)、设置于真空排气系统(10)中的真空区域的压力传感器(50)。真空泵(20)、(30)具有输送气体的一对转子、使一对转子旋转的电动机、使一对转子同步的定时齿轮、控制电动机旋转的驱动器(26)、(36)。真空排气系统(10)还具有控制部(60)，根据由压力传感器(50)检测出的压力，经由真空泵(20)、(30)的驱动器(26)、(36)来控制转子的旋转速度。
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公开(公告)号：CN101111680B
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200680003883.5
申请日：2006-04-07
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F04B49/10
CPC classification number: F04B51/00 , F04C18/126 , F04C18/16 , F04C23/001 , F04C25/02 , F04C2220/10 , F04C2270/80 , F04C2280/02
Abstract: 本发明提供了一种能够进行干式真空泵的自诊断的真空泵自诊断方法、真空泵自诊断系统以及真空泵中央监控系统。真空泵自诊断方法确定故障的发生，并且当预定的警报设定值被用于旋转所述真空泵的转子的马达的电流的积分值或平均值超过时产生警报。在用于进行真空泵的自诊断的真空泵自诊断系统中，该真空泵包括外壳和设置在外壳内的可旋转的转子，以通过转子的旋转吸入和排出气体，转子包括多级，且压力传感器设置在转子级之间。设置一自诊断单元，以计算用于旋转所述转子的马达的电流的积分值或平均值，并且当积分值或平均值超过预定警报设定值时进行真空泵的自诊断。该自诊断单元基于由所述压力传感器检测的压力值从一种自诊断计算方法转换到另一种自诊断计算方法或中断自诊断计算。
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公开(公告)号：CN1877132B
公开(公告)日：2010-11-17
申请号：CN200610074182.2
申请日：2006-04-07
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种可在最适合处理状态的状态下运转并提高真空排气系统的效率的真空排气系统。真空排气系统(10)具有真空泵(20)、(30)、设置于真空排气系统(10)中的真空区域的压力传感器(50)。真空泵(20)、(30)具有输送气体的一对转子、使一对转子旋转的电动机、使一对转子同步的定时齿轮、控制电动机旋转的驱动器(26)、(36)。真空排气系统(10)还具有控制部(60)，根据由压力传感器(50)检测出的压力，经由真空泵(20)、(30)的驱动器(26)、(36)来控制转子的旋转速度。
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