公开(公告)号：CN118056265A

公开(公告)日：2024-05-17

申请号：CN202280067479.3

申请日：2022-07-13

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 中迂良 ,  目黑隆义

IPC: H01L21/304 ,  G05B23/02 ,  G06N20/00 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明关于信息处理装置、推理装置、机器学习装置、信息处理方法、推理方法及机器学习方法。信息处理装置(5)具备：信息获取部(500)，获取至少包含表示在由多个组件构成而进行基板的研磨处理的基板处理装置(2)中产生的警报的种类的警报种类信息和表示在警报产生时分别存在于多个组件的基板的配置状态的基板配置信息的警报产生信息；及支援处理部(501)，通过向通过机器学习学习了警报产生信息与用于应对警报的产生的支援信息的相关关系的学习模型输入根据警报的产生而由信息获取部(500)获取的警报产生信息，生成与该警报对应的支援信息。

公开(公告)号：CN104617012A

公开(公告)日：2015-05-13

申请号：CN201410612632.3

申请日：2014-11-04

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 井上正文 ,  目黑隆义

IPC: H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67219 ,  H01L21/67276

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置，该基板处理装置有效地抑制对基板处理装置内的基板产生损伤。该基板处理装置具备：对基板进行研磨的研磨单元、对通过研磨单元进行了研磨处理后的基板进行清洗以及干燥的清洗单元、以及在研磨单元以及清洗单元内进行基板的输送的输送单元。另外，基板处理装置具备：计测部(5A)，其按每一基板来计测在研磨单元、清洗单元以及输送单元中的停留时间；以及判定部(5B)，其将由计测部(5A)计测出的停留时间与针对各单元分别独立地设定的设定时间进行比较，并且如果停留时间超过了设定时间则判定为发生了错误。