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公开(公告)号：CN118331523A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202311832645.7
申请日：2023-12-28
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: G06F3/14
Abstract: 本发明提供半导体制造装置中的信息显示方法及计算机程序。在半导体制造装置中，能够确认对测定数据进行的计算处理的具体计算条件。半导体制造装置中的信息显示方法包括：获取与上述半导体制造装置中的基板的处理相关的一个或多个时间序列测定数据的步骤；通过对上述一个或多个时间序列测定数据进行统计处理而得到一个或多个统计值的步骤；基于上述一个或多个统计值中的一个选择，确定在用于得到上述选择出的一个统计值的统计处理中所使用的统计处理条件的步骤；以及显示上述确定出的统计处理条件的步骤。
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