公开(公告)号：CN106714954A

公开(公告)日：2017-05-24

申请号：CN201580050402.5

申请日：2015-09-09

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 小泽卓 ,  原田稔 ,  高桥宗人

IPC: B01F15/02 ,  B01F1/00 ,  B01F3/04 ,  B01F5/04 ,  B01F15/04 ,  C01B13/10 ,  C01B13/11 ,  C02F1/78 ,  H01L21/304

CPC classification number: B01F3/0446 ,  B01F5/0413 ,  B01F15/00149 ,  B01F15/00162 ,  B01F15/0022 ,  B01F15/00357 ,  B01F15/00422 ,  B01F2003/04886 ,  B01F2215/004 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/64 ,  C02F1/78 ,  C02F2103/04 ,  C02F2201/782 ,  C02F2209/03 ,  C02F2209/38 ,  C02F2209/40 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/67017

Abstract: 本发明的臭氧水制造装置(1)具备：流量控制器(4、5)，控制作为原料的气体的流量；流量计(12)，测定作为原料的水的流量；升压泵(13)，控制水的压力；臭氧水生成部(8)，将臭氧气体与水进行混合而生成臭氧水；以及压力传感器(17)，测定供给至使用点(19)的臭氧水的压力。升压泵(13)控制水的压力，使由压力传感器(17)测定的臭氧水的压力成为恒定，流量控制器(4、5)根据由流量计(12)测定的水的流量来控制气体的流量。

公开(公告)号：CN108472610B

公开(公告)日：2021-06-15

申请号：CN201780006815.2

申请日：2017-01-13

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 小泽卓 ,  中川洋一 ,  高桥宗人 ,  徐涛 ,  横山俊夫

IPC: B01F15/02 ,  B01F1/00 ,  B01F3/04 ,  B01F3/08

Abstract: 本发明提供能够制造与使用点所必需的量对应的供给液体的供给液体制造装置。供给液体制造装置具备：将水与臭氧气体混合而生成臭氧水的混合器(113)；使向混合器(113)供给的水升压的升压泵(112)；将由混合器(113)生成的臭氧水气液分离成向使用点(119)供给的臭氧水和从排气口(125)排出的排出气体的气液分离箱(114)；对从气液分离箱(114)向使用点(119)供给的臭氧水的流量进行测定的流量计(117)；根据由流量计(117)测定的臭氧水的流量，控制升压泵(112)，对升压并供给至混合器(113)的水的压力(流量)进行调整的流量控制部(126)；以及以将气液分离箱(114)内的水位保持为恒定的方式控制排出气体的排气压力的排气压力控制部(123)。

公开(公告)号：CN108472610A

公开(公告)日：2018-08-31

申请号：CN201780006815.2

申请日：2017-01-13

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 小泽卓 ,  中川洋一 ,  高桥宗人 ,  徐涛 ,  横山俊夫

IPC: B01F15/02 ,  B01F1/00 ,  B01F3/04 ,  B01F3/08

CPC classification number: B01F1/00 ,  B01F3/04 ,  B01F3/08 ,  B01F15/02

Abstract: 本发明提供能够制造与使用点所必需的量对应的供给液体的供给液体制造装置。供给液体制造装置具备：将水与臭氧气体混合而生成臭氧水的混合器(113)；使向混合器(113)供给的水升压的升压泵(112)；将由混合器(113)生成的臭氧水气液分离成向使用点(119)供给的臭氧水和从排气口(125)排出的排出气体的气液分离箱(114)；对从气液分离箱(114)向使用点(119)供给的臭氧水的流量进行测定的流量计(117)；根据由流量计(117)测定的臭氧水的流量，控制升压泵(112)，对升压并供给至混合器(113)的水的压力(流量)进行调整的流量控制部(126)；以及以将气液分离箱(114)内的水位保持为恒定的方式控制排出气体的排气压力的排气压力控制部(123)。