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公开(公告)号：CN112564694A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN202010964417.5
申请日：2020-09-14
Applicant: 株式会社达谊恒
Abstract: 本发明提供高频电源装置以及高频功率的输出方法。提供能缓和高频功率的急变的高频电源装置以及高频功率的输出方法。高频电源装置生成高频信号，周期性地控制生成的高频信号的振幅或相位，输出基于振幅或相位被控制的高频信号从而大小被控制的高频功率。高频电源装置控制高频信号的振幅或相位，使得高频功率的大小在控制周期中的第1期间成为第1水平，在与第1期间不同的控制周期中的第2期间成为比第1水平低的第2水平。高频电源装置使第1期间的长度相对于控制周期的长度的比以及第2水平的至少一方渐减或渐增，并使第1水平渐增或渐减。
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