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发明公开
切削装置审中-实审

公开(公告)号：CN113664689A

公开(公告)日：2021-11-19

申请号：CN202110520743.1

申请日：2021-05-13

Applicant: 株式会社迪思科

Inventor： 福冈武臣 , 桑本博美

IPC: B24B27/06 , B24B55/06 , B24B55/12 , B24B41/02 , B24B47/20 , H01L21/67

Abstract: 本发明提供切削装置，该切削装置能够抑制因切削水的飞散而引起的雾的产生。切削装置包含：保持构件，其对被加工物进行保持；切削构件，其具有能够旋转的主轴，该主轴安装有对保持构件所保持的被加工物进行切削的切削刀具；X轴进给构件，其将保持构件和切削构件沿X轴方向相对地进行加工进给；以及Y轴进给构件，其将保持构件和切削构件沿与X轴方向垂直的Y轴方向相对地进行分度进给，切削构件还具有：刀具罩，其覆盖切削刀具；喷嘴，其设置于刀具罩，向切削刀具提供切削水；以及雾抑制部，其通过附壁效应来抑制由于切削水伴随着切削刀具的旋转沿X轴方向飞散而引起的雾的产生。

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