公开(公告)号：CN101371197B

公开(公告)日：2012-12-26

申请号：CN200780002893.1

申请日：2007-01-23

Applicant: 株式会社钟化

Inventor： 山中俊夫 ,  冈田好史 ,  小岛广平 ,  野尻仁志

IPC: G03F7/095 ,  G03F7/004 ,  G03F7/037 ,  G03F7/075 ,  H05K3/28

CPC classification number: G03F7/0955 ,  G03F7/037 ,  G03F7/161 ,  H05K3/287 ,  H05K2201/012 ,  H05K2201/0195

Abstract: 本发明提供可以水系显影，析像清晰度、阻燃性、密合性、耐湿性、电可靠性、保存稳定性优异的感光性干膜抗蚀剂及其制造方法、以及它们的利用方法。通过使用至少包含第一感光层和第二感光层的多层结构的感光性干膜抗蚀剂，能够解决上述课题，其中，第一感光层含有(A1)粘合剂聚合物、(B1)(甲基)丙烯酸类化合物、(C1)光反应引发剂和(D1)阻燃剂作为必要成分，第二感光层含有(A2)粘合剂聚合物和(B2)(甲基)丙烯酸类化合物作为必要成分，基本上不含有(D2)阻燃剂，(D2)阻燃剂满足以下条件：将(D1)阻燃剂的重量相对于第一感光层的总重量的比例记为第一感光层的阻燃剂含有率，并将(D2)阻燃剂的重量相对于第二感光层的总重量的比例记为第二感光层的阻燃剂含有率时，第二感光层的阻燃剂含有率为0～10重量％，并且，将第一感光层的阻燃剂含有率记为100时，第二感光层的阻燃剂含有率为0～50。

公开(公告)号：CN101371197A

公开(公告)日：2009-02-18

申请号：CN200780002893.1

申请日：2007-01-23

Applicant: 株式会社钟化

Inventor： 山中俊夫 ,  冈田好史 ,  小岛广平 ,  野尻仁志

IPC: G03F7/095 ,  G03F7/004 ,  G03F7/037 ,  G03F7/075 ,  H05K3/28

CPC classification number: G03F7/0955 ,  G03F7/037 ,  G03F7/161 ,  H05K3/287 ,  H05K2201/012 ,  H05K2201/0195

Abstract: 本发明提供可以水系显影，析像清晰度、阻燃性、密合性、耐湿性、电可靠性、保存稳定性优异的感光性干膜抗蚀剂及其制造方法、以及它们的利用方法。通过使用至少包含第一感光层和第二感光层的多层结构的感光性干膜抗蚀剂，能够解决上述课题，其中，第一感光层含有(A1)粘合剂聚合物、(B1)(甲基)丙烯酸类化合物、(C1)光反应引发剂和(D1)阻燃剂作为必要成分，第二感光层含有(A2)粘合剂聚合物和(B2)(甲基)丙烯酸类化合物作为必要成分，基本上不含有(D2)阻燃剂，(D2)阻燃剂满足以下条件：将(D1)阻燃剂的重量相对于第一感光层的总重量的比例记为第一感光层的阻燃剂含有率，并将(D2)阻燃剂的重量相对于第二感光层的总重量的比例记为第二感光层的阻燃剂含有率时，第二感光层的阻燃剂含有率为0～10重量％，并且，将第一感光层的阻燃剂含有率记为100时，第二感光层的阻燃剂含有率为0～50。